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Kapazitanz-Spannungs-Proauswerteprogramm ECV Elektrochemisches von Nanometrics

Das Pro ECV ist das Ergebnis einer Gesamtneukonstruktion, die vollständig ECV Ein Profil erstellen umdefiniert. Wir haben 25 Jahre des Ein Profil erstellens von Erfahrung gedauert und es mit 25 Jahren Fortschritten in der Instrumentsteuerungstechnik verbunden, um das genaueste überhaupt zu produzieren, am reproduzierbarsten, das meiste hoch-automatisierte LEBENSLAUF-Auswerteprogramm. Das Pro ECV wurde von Grund auf konstruiert um alle abhängigen Schwankungen des Operators der Daten zu beseitigen. Der Ganzer Operator muss tun wird eingestellt dem Wafer auf der Stufe. Nach Anfangsinstallation kümmert sich das Pro ECV um allem anderem.

Pro ECV führt die erste in-situkamera für beispiellose Niveaus der Regelung ein. Wir nennen es ECVision™ und es erlaubt Echtzeitdarstellung der Halbleiterelektrolytschnittstelle. Jetzt können Sie genau sehen, was an der Beispieloberfläche während eines Maßes auftritt.

Für III-Nitride dehnt die Pro-GaN Option ECV die Leistung der Anlage für das optimale Ein Profil erstellen von GaN, von InGaN und von AlGaN aus.

  • Beseitigung der Datenvariante wegen des Operators
  • Drastische Verbesserung in der Reproduzierbarkeit
  • Integrierte Auslegung führt zu kleinen Abdruck
  • ECVision unterstützt Maßdiagnosen

Last Update: 11. January 2012 07:59

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