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Pro Profilatore Elettrochimico di Tensione di Capacità di ECV da Nanometrics

Il ECV Pro è il risultato di una riprogettazione totale che completamente ridefinisce il delineamento di ECV. Abbiamo catturato 25 anni di delineamento dell'esperienza e coppia con il più riproducibile 25 anni di avanzamenti nella tecnologia di controllo dello strumento per produrre mai il più preciso, la maggior parte del profilatore alto-automatizzato del CV. Il ECV Pro è stato destinato, dalla terra in su, per eliminare tutte le variazioni dipendenti dell'operatore nei dati. Tutto L'operatore deve fare è impostato il wafer sulla fase. Dopo l'impostazione iniziale, il ECV Pro cattura la cura di tutto il resto.

ECV Pro presenta la macchina fotografica in situ mai vista per i livelli di controllo senza precedenti. Lo chiamiamo ECVision™ e permette la rappresentazione in tempo reale dell'interfaccia dell'elettrolito a semiconduttore. Ora potete vedere esattamente che cosa si presenta alla superficie del campione durante la misura.

Per i III-Nitruri, la Pro GaN opzione di ECV estende la prestazione del sistema per il delineamento ottimale di GaN, di InGaN e di AlGaN.

  • Eliminazione di variazione di dati dovuto l'operatore
  • Forte progresso nella riproducibilità
  • La progettazione Integrata piombo alla piccola orma
  • ECVision aiuta i sistemi diagnostici di misura

Last Update: 11. January 2012 06:20

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