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ECV Nanometrics からのプロ電気化学キャパシタンス電圧型彫機

プロ ECV は完全に ECV の側面図を描を定義し直す総デザイン変更の結果です。 私達は経験の 25 側面図を描年間の側面図を描くことを取り、最も精密の、ほとんどの高自動化された CV の型彫機作り出すために最も再生可能な 25 年間の器械制御技術の前進とのそれをつなぎました。 プロ ECV は、全く新しく、データのすべてのオペレータ依存した変化を除去するように設計されていました。 オペレータ全員はセットされます段階のウエファーしなければなりません。 最初のセットアップの後で、プロ ECV は他のすべて処理します。

プロ ECV は前例のない管理水準のための前代未聞の in-situ カメラを導入します。 私達はそれを ECVision™と呼出し、半導体の電解物インターフェイスのリアルタイムイメージ投射を可能にします。 ここで発生するものが測定の間にサンプル表面に丁度見ることができます。

III 窒化物のために、 ECV プロ GaN オプションは GaN、 InGaN および AlGaN の最適に側面図を描くことのためのシステムのパフォーマンスを拡張します。

  • オペレータによるデータ変化の除去
  • 再現性の劇的な改善
  • 統合されたデザインは小さい足跡の原因となります
  • ECVision は測定の診断を助けます

Last Update: 11. January 2012 08:01

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