Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

La Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence est un système rapide, de température ambiante (PL) de photoluminescence de mappage adapté pour l'usage dans des environnements de R+D, de production et de contrôle qualité.

Le RPM2000 a été conçu particulièrement pour obtenir les plans entiers de PL de disque dans une simple fraction du temps précédemment associé avec ce tri de la mesure, donnant la capacité de mesurer et évaluer des disques entre les cadences de production. L'avantage primaire est que le contrôle par retour de l'information rapide et les mesures correctives peuvent être mis en application si les paramètres de disque sont hors du cahier des charges, évitant des cadences de production, ainsi le temps et coût gaspillés d'épargne. De plus, la vitesse de la mesure effectue l'inspection et la qualification entrantes des disques achetés un rapide et une tâche facile.

À l'aide d'un seul design, le système réalise des vitesses rapides superbes de mappage sans compromettre spectrale et résolution spatiale. Par exemple, un contrôle rapide de signe intégré de PL sur un disque de deux pouces à la résolution spatiale de 1mm peut être exécuté en seulement 19 secondes. C'est un plan de 2026 remarques en moins de 20 secondes. Le Plein mappage spectral, à la même résolution spatiale, donnant la position maximale, intensité maximale, FWHM et intensité intégrée prendrait seulement 25 secondes. En 100 secondes au-dessous de, le RPM2000 peut produire les plans intégrés d'un disque de deux pouces à la résolution spatiale de 0.2mm, un total de plus de 50.000 remarques, ou plans spectraux à la résolution spatiale de 0.5mm donnant 8.000 remarques.

Le RPM2000 peut également fournir le véritable mappage de PL de qualité des images aux définitions spatiales et spectrales élevées, donnant la capacité d'examiner des centaines de milliers de remarques sur des disques jusqu'au diamètre de 150mm : Il est possible de tracer à la résolution spatiale de 0.1mm sur des disques jusqu'au diamètre de 100mm et à 0.2mm sur des disques jusqu'à 150mm. Pour des disques de 150mm une résolution spatiale de 1mm plan intégré prendrait seulement 56 secondes et une résolution spatiale de la qualité des images 0.2mm plan intégré, correspondant à plus de 455.800 remarques prendrait seulement 8 mn.

Caractéristiques techniques :

  • 0,1 millimètres de définition de maximum
  • domaine spectral de 350 - de 2600 nanomètre
  • traiter robotisé de disque (avec le Mode de Pipeline)
  • adapté pour 2" - 6" disque
  • temps court de mesure (par exemple mesure du signe intégré de PL d'un 2" disque avec 1 millimètre de définition en 19 secondes)
  • jusqu'à 3 lasers, 3 grilles et 2 détecteurs peuvent être simultanés utilisé
  • longue distance de fonctionnement (réduit la goutte de la qualité de mesure si le disque a un touage)
  • laser 15 différent (266 - 1064 nanomètre)
  • 10 grilles différentes
  • 13 détecteurs différents

Last Update: 11. January 2012 06:16

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