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Nanometrics からの RPM2000 急速な Photoluminescence のマッパー

RPM2000 急速な Photoluminescence マッパーは R+D、生産および品質管理の環境 (PL)の使用のために適した速い、室温の photoluminescence マップシステムです。

RPM2000 は前にこの種類の測定と関連付けられる時間のただの一部分の全ウエファー PL のマップを得るようにとりわけ設計され契約量間のウエファーを測定し、査定する機能を与えます。 一次利点は従ってもしウエファーパラメータが無駄にされた契約量、セービングの時間および費用を避ける指定からあれば急速なフィードバックおよび改善措置が実行することができることです。 さらに、測定の速度は買い入れられたウエファーの入力点検および修飾を速く、容易なタスクします。

一義的なデザインの使用によって、システムは分光および空間分解能を妥協しないで極度の速いマップの速度を達成します。 例えば、 1mm の空間分解能の 2 インチのウエファーの統合された PL のシグナルの急速な小切手は 19 秒だけに行うことができます。 それは 20 秒以下の 2026 ポイントマップです。 完全な分光は FWHM および統合された強度を、ピーク位置を、ピーク強度与える、同じ空間分解能でマップして 25 秒だけかかります。 以下 100 秒では、 RPM2000 は 50,000 ポイント上の 0.2mm の空間分解能、合計、または 8,000 ポイントを与える 0.5mm の空間分解能で分光マップで 2 インチのウエファーの統合されたマップを作り出すことができます。

RPM2000 はまた 150mm の直径までウエファーの数十万ポイントを検査する機能を与える高く空間的なおよび分光解像度でマップする直接像の品質 PL を提供できます: 100mm の直径までウエファーの 0.1mm の空間分解能および 150mm までウエファーの 0.2mm でマップすることは可能です。 150mm のウエファーのために 1mm の空間分解能は統合されたマップ 56 秒だけかかり、空間分解能が 455,800 ポイント上のに相当してマップを、統合した画像の品質 0.2mm は 8 分だけかかります。

機能:

  • 0.1 mm 最大。 解像度
  • 350 - 2600 nm のスペクトル領域
  • 自動化されたウエファーの処理 (パイプラインのモードと)
  • 2" のために適した - 6" ウエファー
  • 2" の統合された PL のシグナルの短い測定の時間 (例えば測定 19 秒の解像度 1 つの mm ののウエファー)
  • 3 つまでのレーザー、 3 つの格子および 2 つの探知器は使用された同時である場合もあります
  • ウエファーにそりがあれば長い作動距離 (測定の品質の低下を減らします)
  • 15 レーザー (266 - 1064 nm)
  • 10 の格子
  • 13 の探知器

Last Update: 11. January 2012 08:01

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