20% off DeltaTime Fluorescence Lifetime System Upgrade

There are 2 related live offers.

Horiba - DeltaTime - 20% Off | DeltaTime TCSPC Half Price | See All
Related Offers

RPM2000 Rapid photoluminescence Mapper fra Nanometrics

Den RPM2000 Rapid photoluminescence Mapper er et raskt, romtemperatur photoluminescence (PL) kartsystem egnet for bruk i R + D, produksjon og kvalitetskontroll miljøer.

Den RPM2000 har blitt designet spesielt for å få hele wafer PL kartene i bare en brøkdel av tiden tidligere forbundet med denne type måling, noe som gir muligheten til å måle og vurdere wafere mellom produksjon går. Den primære fordelen er at raske tilbakemeldinger og korrigerende tiltak kan implementeres bør wafer parametere være ute av spesifikasjonen, unngå bortkastet serier, og dermed spare tid og kostnader. I tillegg gjør hastigheten på målingen inngående inspeksjon og kvalifisering av innkjøpt i wafere en rask og enkel oppgave.

Ved å bruke et unikt design, oppnår systemet super rask kartlegging hastigheter uten at det går spektral og romlig oppløsning. For eksempel kan en rask sjekk av integrerte PL signal på en 2-tommers wafer på 1mm romlig oppløsning utføres på bare 19 sekunder. Det er en 2026 poeng kart i mindre enn 20 sekunder. Full spektral kartlegging, på samme romlig oppløsning, ville gi topp posisjon, peak intensitet, FWHM og integrert intensitet bare ta 25 sekunder. På under 100 sekunder, kan RPM2000 produsere integrerte kart over en 2-tommers wafer på 0.2mm romlig oppløsning, totalt over 50.000 poeng, eller spektrale kart på 0.5mm romlig oppløsning som gir 8000 poeng.

Den RPM2000 kan også gi ekte bildekvalitet PL kartlegging ved høy romlig og spektral oppløsning, noe som gir muligheten til å undersøke tusenvis av punkter på wafere opp til 150mm diameter: Det er mulig å kartlegge på 0.1mm romlig oppløsning på wafere opp til 100mm diameter og 0.2mm på wafere opp til 150mm. For 150mm wafere en 1mm romlig oppløsning integrert kart ville ta bare 56 sekunder og en bildekvalitet 0.2mm romlig oppløsning integrerte kart, tilsvarende til over 455 800 poeng ville ta bare 8 minutter.

Funksjoner:

  • 0,1 mm max. oppløsning
  • 350 - 2600 nm spektralområdet
  • automatisert wafer håndtering (med Pipeline Mode)
  • egnet for 2 "- 6" wafer
  • kort måletid (for eksempel måling av den integrerte PL signal av en 2 "wafer med 1 mm oppløsning i 19 sekunder)
  • opptil 3 lasere, 3 rister og 2 detektorer kan benyttes samtidig
  • lang arbeidsavstand (reduserer fallet i målingen kvalitet hvis wafer har en warpage)
  • 15 forskjellige laser (266-1064 nm)
  • 10 forskjellige rister
  • 13 ulike detektorer

Last Update: 4. October 2011 14:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment