Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

O Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence é um sistema rápido, da temperatura ambiente (PL) do photoluminescence de traço apropriado para o uso em ambientes do controle de R+D, de produção e de qualidade.

O RPM2000 foi projectado especificamente obter mapas inteiros do PL da bolacha em uma mera fracção do tempo associado previamente com esta meio medida, dando a capacidade para medir e avaliar bolachas entre corridas de produção. O benefício preliminar é que o feedback rápido e a acção correctiva podem ser executados se os parâmetros da bolacha forem fora da especificação, evitando corridas de produção, assim o tempo da economia e custos desperdiçados. Além, a velocidade da medida faz a inspecção e a qualificação entrantes de bolachas compradas acções uma tarefa rápida e fácil.

Usando um projecto original, o sistema consegue velocidades de traço rápidas super sem comprometer a definição espectral e espacial. Por exemplo, uma verificação rápida do sinal integrado do PL em uma bolacha de 2 polegadas na definição espacial de 1mm pode ser executada em somente 19 segundos. Aquele é um mapa de 2026 pontos em menos de 20 segundos. Espectral Completo traçando, na mesma definição espacial, dando a posição máxima, a intensidade máxima, o FWHM e a intensidade integrada tomaria somente 25 segundos. Em 100 segundos inferiores, o RPM2000 pode produzir mapas integrados de uma bolacha de 2 polegadas na definição espacial de 0.2mm, em um total sobre de 50.000 pontos, ou em mapas espectrais na definição espacial de 0.5mm que dá 8.000 pontos.

O RPM2000 pode igualmente fornecer a qualidade PL da imagem verdadeira que traça nas definições espaciais e espectrais altas, dando a capacidade para examinar centenas de milhares de pontos em bolachas até o diâmetro de 150mm: É possível traçar na definição espacial de 0.1mm em bolachas até o diâmetro de 100mm e em 0.2mm em bolachas até 150mm. Para bolachas de 150mm uma definição espacial de 1mm mapa integrado tomaria somente 56 segundos e uma qualidade 0.2mm que da imagem a definição espacial integrou o mapa, correspondendo sobre a 455.800 pontos tomaria somente 8 minutos.

Características:

  • 0,1 milímetros de definição do máximo
  • escala espectral de 350 - de 2600 nanômetro
  • manipulação automatizada da bolacha (com Modo do Encanamento)
  • apropriado para 2" - 6" bolacha
  • tempo curto da medida (por exemplo medida do sinal integrado do PL de um 2" bolacha com 1 milímetro de definição em 19 segundos)
  • até 3 lasers, 3 gratings e 2 detectores podem ser simultâneos usado
  • distância de funcionamento longa (reduz a gota na qualidade da medida se a bolacha tem um warpage)
  • laser 15 diferente (266 - 1064 nanômetro)
  • 10 gratings diferentes
  • 13 detectores diferentes

Last Update: 3. June 2015 10:06

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