RPM2000 Быстрое Mapper Фотолюминесценция это быстрый, комнатной температуры фотолюминесценции (ФЛ), отображающий систему, пригодную для использования в R + D, производства и контроля качества среды.
RPM2000 была разработана специально для получения целого пластины PL карты в незначительную часть времени, ранее связанные с такого рода измерения, что дает возможность измерять и оценивать пластин между производством работает. Основным преимуществом является то, что быструю обратную связь и меры по исправлению положения могут быть реализованы пластины должны быть параметры из спецификации, избегая впустую производственных циклов, что позволяет экономить время и затраты. Кроме того, скорость измерения делает входной контроль и квалификации купил в пластинах быстрой и легкой задачей.
С помощью уникального дизайна, система обеспечивает супер быстрый скорость отображения без ущерба для спектрального и пространственного разрешения. Например, быстрая проверка сигнала интегрированный PL на 2-дюймовые пластины на 1 мм пространственным разрешением может быть выполнено лишь в 19 секунд. Это 2026 точка карты менее чем за 20 секунд. Полное спектральное отображение, в то же пространственным разрешением, что дает положение пика, пик интенсивности, полуширины и интегральной интенсивности займет всего 25 секунд. В до 100 секунд, RPM2000 может производить интегрированные карты 2-дюймовые пластины на 0,2 пространственное разрешение, в общей сложности более 50 000 пунктов, или спектральных карт в 0,5 пространственное разрешение дает 8000 очков.
RPM2000 также может предоставить правдивую качество изображения PL отображения с высоким пространственным и спектральным разрешением, что дает возможность исследовать сотни тысяч точек на пластинах до 150 мм диаметр: Можно карту на пространственным разрешением 0,1 мм на пластинах до 100 мм диаметром и 0,2 мм на пластинах до 150 мм. Для 150-мм пластины 1 мм пространственным разрешением интегрированной карты займет всего 56 секунд, а качество изображения пространственным разрешением 0,2 мм интегрированные карты, соответствующие более чем 455 800 точках займет всего 8 минут.
Особенности игры:
- 0,1 мм макс. разрешение
- 350 - 2600 нм спектра
- автоматизированная обработка пластин (с режим конвейера)
- для 2 "- 6" пластин
- короткое время измерения (например, измерение интегрированным сигнал ФЛ 2 "пластин с 1 мм, разрешением в 19 секунд)
- до 3 лазеров, 3 решетки и 2 детектора могут быть использованы одновременной
- большое рабочее расстояние (уменьшает падение качества измерений, если пластина имеет коробления)
- 15 различных лазерных (266 - 1064 нм)
- 10 различных решетках
- 13 различных детекторов