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RPM2000快速的光致发光映射从Nanometrics

RPM2000快速的光致发光映射是一种快速,室温光致发光(PL)测绘系统适合使用在R + D,生产和质量控制环境。

的RPM2000已经专门获得整个晶圆的PL图,在以前这种测量时间的一小部分,给生产运行之间的晶圆来衡量和评估的能力。主要优点是快速反馈和可实施补救行动,应晶圆参数规格,避免浪费的生产运行,从而节省时间和成本。此外,测量速度,使进厂检验和资格买晶圆快速和容易的任务。

通过使用一个独特的设计,该系统实现了没有妥协的光谱和空间分辨率的超快速映射速度。例如,在1mm的空间分辨率的快速检查的一个2英寸的晶圆上集成的PL信号可以在短短19秒。这是一个2026点,在不到20秒的地图。全光谱图,在相同的空间分辨率,给峰位,峰强度,FWHM和整合力度将只需要25秒。在不到100秒,RPM2000可以产生在0.2毫米空间分辨率的2英寸晶圆的集成地图,共有超过50,000点,或0.5毫米空间给8000点的分辨率的光谱图。

的RPM2000还可以提供真正的图像质量高空间和光谱分辨率的PL映射,赋予能力的考查数以十万计点直径150mm晶圆上:这是可能的地图在0.1毫米空间分辨率上晶圆直径100mm和0.2毫米到150mm晶圆上。对于150毫米晶圆1毫米的空间分辨率集成地图将只需要56秒,图像质量0.2毫米空间分辨率的综合地图,相应的超过455800点,将只需要8分钟。

特点:

  • 0.1毫米最大。决议
  • 350 - 2600 nm的光谱范围
  • 自动化晶圆处理(管道模式)
  • 适用于2“ - 6”晶圆
  • 测量时间短(1毫米分辨率在19秒2“晶圆集成的PL信号,例如测量)
  • 3激光器,3光栅和2个探测器,可用于同步
  • 长工作距离(如果晶圆有翘曲,降低测量质量下降)
  • 15种不同的激光(266 - 1064纳米)
  • 10的光栅
  • 13个不同的探测器

Last Update: 4. October 2011 21:28

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