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RPM2000快速的光致發光映射從 N​​anometrics

RPM2000快速的光致發光映射是一種快速,室溫光致發光(PL)測繪系統適合使用在R + D,生產和質量控制環境。

的RPM2000已經專門獲得整個晶圓的PL圖,在以前這種測量時間的一小部分,給生產運行之間的晶圓來衡量和評估的能力。主要優點是快速反饋和可實施補救行動,應晶圓參數規格,避免浪費的生產運行,從而節省時間和成本。此外,測量速度,使進廠檢驗和資格買晶圓快速和容易的任務。

通過使用一個獨特的設計,該系統實現了沒有妥協的光譜和空間分辨率的超快速映射速度。例如,在1mm的空間分辨率的快速檢查的一個 2英寸的晶圓上集成的PL信號可以在短短19秒。這是一個 2026點,在不到20秒的地圖。全光譜圖,在相同的空間分辨率,給峰位,峰強度,FWHM和整合力度將只需要25秒。在不到100秒,RPM2000可以產生在0.2毫米空間分辨率的2英寸晶圓的集成地圖,共有超過 50,000點,或0.5毫米空間給 8000點的分辨率的光譜圖。

的RPM2000還可以提供真正的圖像質量高空間和光譜分辨率的PL映射,賦予能力的考查數以十萬計點直徑 150mm晶圓上:這是可能的地圖在0.1毫米空間分辨率上晶圓直徑 100mm和0.2毫米到150mm晶圓上。對於150毫米晶圓 1毫米的空間分辨率集成地圖將只需要56秒,圖像質量0.2毫米空間分辨率的綜合地圖,相應的超過 455800點,將只需要8分鐘。

特點:

  • 0.1毫米最大。決議
  • 350 - 2600 nm的光譜範圍
  • 自動化晶圓處理(管道模式)
  • 適用於 2“ - 6”晶圓
  • 測量時間短(1毫米分辨率在19秒2“晶圓集成的PL信號,例如測量)
  • 3激光器,3光柵和2個探測器,可用於同步
  • 長工作距離(如果晶圓有翹曲,降低測量質量下降)
  • 15種不同的激光(266 - 1064納米)
  • 10的光柵
  • 13個不同的探測器

Last Update: 9. October 2011 09:29

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