從 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員

從 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員

RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員是一個快速,室溫 photoluminescence (PL) 製圖系統適用於 R+D、生產和質量管理環境。

RPM2000 特別地被設計獲得在時間的一個僅僅分數的全部的薄酥餅 PL 映射以前與此類評定相關,產生能力評定和估計在生產運行之間的薄酥餅。 主要福利是迅速反饋和矯正措施可以被實施如果薄酥餅參數是在說明外面,避免浪費的生產運行、因而節省額時間和費用。 另外,評定的速度做接踵而來的檢驗和鑒定被買下的薄酥餅一項快速和容易的任務。

通過使用一個唯一設計,這個系統達到超級快速映射的速度,无需減弱光譜和空間分辨率。 例如,集成 PL 信號一迅速檢查在 2 英寸薄酥餅的在 1mm 空間分辨率只可以在 19 秒執行。 那是 2026 點映射在少於 20 秒。 充分光譜映射,在同一個空間分辨率,產生高峰位置,高峰強度、 FWHM 和集成強度只將需要 25 秒。 在以下 100 秒, RPM2000 可能生產 2 英寸薄酥餅的集成映射在 0.2mm 空間分辨率,總共 50,000 點或者光譜映射在產生 8,000 點的 0.5mm 空間分辨率。

RPM2000 可能也提供映射在高空間和光譜分辨率的直接像質量 PL,產生這個能力檢查在薄酥餅的數十萬點至 150mm 直徑: 映射在對薄酥餅的 0.1mm 空間分辨率至 100mm 直徑和 0.2mm 在薄酥餅至 150mm 是可能的。 对 150mm 薄酥餅 1mm 空間分辨率集成的映射只將需要 56 秒,并且圖像質量空間分辨率集成映射的 0.2mm,與 455,800 點相應只將需要 8 分鐘。

功能:

  • 0.1 mm 最大。 解決方法
  • 350 - 2600 毫微米光譜範圍
  • 自動化的薄酥餅處理 (在傳遞途徑模式下)
  • 適用於 2" - 6" 薄酥餅
  • 集成 PL 信號的短的評定時間 (即評定一 2" 與 1 mm 的薄酥餅解決方法在 19 秒)
  • 3 激光、 3 濾柵和 2 臺探測器可以是使用的同時的
  • 長的工作距離 (減少下落進入評定質量,如果這個薄酥餅有翹曲)
  • 15 不同激光 (266 - 1064 毫微米)
  • 10 不同濾柵
  • 13 臺不同探測器

Last Update: 3. June 2015 10:03

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