Das HD-2300A Rastertransmissionselektronenmikroskop wurde in Erwiderung auf den Bedarf an der Bewertung und an der Analyse von ultradünnen Filmen in den Halbleiteranwendungen und in anderen komplexen Materialien eingeführt. Unter Verwendung der spätesten Bereichemissionstechnologie bietet das HD-2300A die hochauflösenden Darstellungsfähigkeiten an, garantiert an besserem als 0.2nm, mit einer maximalen Vergrößerung von 10,000,000x. Vereinfachte Operation und automatisierte Spaltenausrichtung lässt das HD-2300A so einfach wie heutiges spätestes SEM funktionieren und fördert Teildienste, indem sie eine bedienungsfreundliche Anlage zur Verfügung stellen, die Spitzenergebnisse schnell liefern kann.
Das HD-2300A kann mit einem Energie dispersiven Röntgen-Spektrometer, mit erhöhter Empfindlichkeit (Raumwinkel 0.3sr) ausgerüstet werden um die schnelle Datenerfassung von elementaren Karten/von linescans und von Spektren zu erlauben. Die HD-2300A Halterungen sind mit der FB-2100 Fokussierten IonenTrägeranlage kompatibel und bieten eine umfassende Untersuchungsanlage für Site-spezifische Probenaufbereitung und Analyse von schwierigen Proben an. Die Anlage der digitalen Darstellung erlaubt kritische Abmessungsmaße von Schlüsselparametern direkt auf der Bildbildschirmanzeige und erlaubt direkt auf das Netz des Benutzers für Bewertung übertragen zu werden oder die Bilder und Daten, von Auswertung zu fördern.
Hauptmerkmale:
- Auflösung 0.2nm garantiert
- Hoch entwickelte analytische Leistung
- Holen von Benutzerfreundlichkeit zu einer neuen Stufe
- Hohe Empfindlichkeit EDS-Analyse- und -Hochenergieauflösung AALE