Serie ALD 200L von Kurt J. Lesker Company

Serie ALD 200L von Kurt J. Lesker Company

Unabhängige ALD Kurt J. Lesker Company Anlagen Angebots für Grundlagenforschung oder vollständig integrierte Absetzungsanlagen für komplexe R&D-Anwendungen. Alle unsere ALD-Anlagenplattformen kennzeichnen Hochgeschwindigkeits-ALD-Ventile und integrierte Pumpen, Druckmessung und die Gaslieferungspakete, die für Ihren spezifischen Prozess optimiert werden.

Hauptmerkmale:

  • Reaktorkammer des Zähflüssigen Flusses ALD
  • Cabnit-Auslegung lässt große Zahl von Reaktionsmittelinput zu
  • Erhitzte Edelstahlkammer mit Vorderanschluß Substratflächenladen
  • Passt 8" Durchmessersubstratflächen an
  • Substratfläche, die bis zu 500°C heizt
  • Erhitzte Zeilen zu 200°C
  • Völlig erschöpftes Kabinett mit Gasverriegelungen
  • Rezept getriebene prozesskontrollierte Software
  • Optionen umfassen: Fernplasma; Schleuse; Gastrinkwasserbrunnen mit Regelung

Last Update: 11. January 2012 07:59

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