Serie ALD 200L von Kurt J. Lesker Company

Unabhängige ALD Kurt J. Lesker Company Anlagen Angebots für Grundlagenforschung oder vollständig integrierte Absetzungsanlagen für komplexe R&D-Anwendungen. Alle unsere ALD-Anlagenplattformen kennzeichnen Hochgeschwindigkeits-ALD-Ventile und integrierte Pumpen, Druckmessung und die Gaslieferungspakete, die für Ihren spezifischen Prozess optimiert werden.

Hauptmerkmale:

  • Reaktorkammer des Zähflüssigen Flusses ALD
  • Cabnit-Auslegung lässt große Zahl von Reaktionsmittelinput zu
  • Erhitzte Edelstahlkammer mit Vorderanschluß Substratflächenladen
  • Passt 8" Durchmessersubstratflächen an
  • Substratfläche, die bis zu 500°C heizt
  • Erhitzte Zeilen zu 200°C
  • Völlig erschöpftes Kabinett mit Gasverriegelungen
  • Rezept getriebene prozesskontrollierte Software
  • Optionen umfassen: Fernplasma; Schleuse; Gastrinkwasserbrunnen mit Regelung

Last Update: 11. January 2012 07:59

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