Unabhängige ALD Kurt J. Lesker Company Anlagen Angebots für Grundlagenforschung oder vollständig integrierte Absetzungsanlagen für komplexe R&D-Anwendungen. Alle unsere ALD-Anlagenplattformen kennzeichnen Hochgeschwindigkeits-ALD-Ventile und integrierte Pumpen, Druckmessung und die Gaslieferungspakete, die für Ihren spezifischen Prozess optimiert werden.
Hauptmerkmale:
- Reaktorkammer des Zähflüssigen Flusses ALD
- Cabnit-Auslegung lässt große Zahl von Reaktionsmittelinput zu
- Erhitzte Edelstahlkammer mit Vorderanschluß Substratflächenladen
- Passt 8" Durchmessersubstratflächen an
- Substratfläche, die bis zu 500°C heizt
- Erhitzte Zeilen zu 200°C
- Völlig erschöpftes Kabinett mit Gasverriegelungen
- Rezept getriebene prozesskontrollierte Software
- Optionen umfassen: Fernplasma; Schleuse; Gastrinkwasserbrunnen mit Regelung