ALD 200L σειρά από Kurt J. Εταιρεία Lesker

Kurt J. προσφορά της εταιρείας Lesker αυτόνομα συστήματα ALD για τη βασική έρευνα ή πλήρως ολοκληρωμένα συστήματα απόθεσης για τα σύνθετα έρευνας και ανάπτυξης εφαρμογών. Όλες οι πλατφόρμες της ALD μας σύστημα διαθέτουν υψηλής ταχύτητας βαλβίδες ALD και ολοκληρωμένη άντληση, τη μέτρηση πίεσης, και τα πακέτα παράδοσης αερίου βελτιστοποιηθεί για συγκεκριμένη διαδικασία σας.

Βασικά χαρακτηριστικά:

  • Παχύρρευστο θάλαμο ροής ALD αντιδραστήρα
  • Cabnit σχεδιασμός επιτρέπει μεγάλο αριθμό εισόδων αντιδρών
  • Θερμαινόμενος χώρος από ανοξείδωτο ατσάλι με front-λιμάνι φόρτωσης υπόστρωμα
  • Φιλοξενεί 8 "υποστρώματα διάμετρο
  • Υπόστρωμα θέρμανσης μέχρι 500 ° C
  • Θερμαινόμενη γραμμές των 200 ° C
  • Πλήρως εξαντληθεί ντουλάπι με αέριο ασφαλιστικές δικλείδες
  • Συνταγή οδηγείται λογισμικού ελέγχου της διαδικασίας
  • Οι επιλογές περιλαμβάνουν: απομακρυσμένο πλάσμα? Κλείδωμα φορτίου? Φυσαλίδες αερίου με έλεγχο κλειστού βρόχου

Last Update: 19. October 2011 19:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment