Serie de ALD 200L de Kurt J. Lesker Company

Serie de ALD 200L de Kurt J. Lesker Company

Sistemas independientes de la oferta ALD de Kurt J. Lesker Company para la investigación básica o sistemas totalmente integrados de la deposición para las aplicaciones complejas del R&D. Todas nuestras plataformas del sistema de ALD ofrecen las válvulas de alta velocidad de ALD y bombeo, medición de la presión, y los conjuntos integrados de la salida del gas optimizados para su proceso específico.

Características Dominantes:

  • Compartimiento del reactor del flujo Viscoso ALD
  • El diseño de Cabnit permite el gran número de entradas de información el reactivo
  • Compartimiento Heated del acero inoxidable con el cargamento del substrato del delantero-acceso
  • Acomoda 8" los substratos del diámetro
  • Substrato que calienta hasta 500°C
  • Líneas Heated a 200°C
  • Cabina Completo agotada con los interruptores de seguridad del gas
  • Software de mando de proceso impulsado Receta
  • Las Opciones incluyen: plasma alejada; bloqueo de la carga; pelele del gas con mando de bucle cerrado

Last Update: 11. January 2012 08:07

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment