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Serie de ALD 200L de Kurt J. Lesker Company

Sistemas independientes de la oferta ALD de Kurt J. Lesker Company para la investigación básica o sistemas totalmente integrados de la deposición para las aplicaciones complejas del R&D. Todas nuestras plataformas del sistema de ALD ofrecen las válvulas de alta velocidad de ALD y bombeo, medición de la presión, y los conjuntos integrados de la salida del gas optimizados para su proceso específico.

Características Dominantes:

  • Compartimiento del reactor del flujo Viscoso ALD
  • El diseño de Cabnit permite el gran número de entradas de información el reactivo
  • Compartimiento Heated del acero inoxidable con el cargamento del substrato del delantero-acceso
  • Acomoda 8" los substratos del diámetro
  • Substrato que calienta hasta 500°C
  • Líneas Heated a 200°C
  • Cabina Completo agotada con los interruptores de seguridad del gas
  • Software de mando de proceso impulsado Receta
  • Las Opciones incluyen: plasma alejada; bloqueo de la carga; pelele del gas con mando de bucle cerrado

Last Update: 11. January 2012 08:07

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