कर्ट जे Lesker कंपनी से ALD 200L श्रृंखला

कर्ट जे Lesker कंपनी से ALD 200L श्रृंखला

कर्ट जे Lesker कंपनी की पेशकश जटिल आर एंड डी अनुप्रयोगों के लिए बुनियादी अनुसंधान या बयान पूरी तरह से एकीकृत प्रणाली के लिए खड़े अकेले ALD प्रणालियों. हमारे ALD प्रणाली प्लेटफार्मों के सभी उच्च गति ALD वाल्व और एकीकृत दबाव पंप, माप, और अपने विशिष्ट प्रक्रिया के लिए अनुकूलित गैस वितरण संकुल सुविधा.

मुख्य विशेषताएं:

  • चिपचिपा प्रवाह ALD रिएक्टर चैम्बर
  • Cabnit डिजाइन reactant आदानों की बड़ी संख्या के लिए अनुमति देता है
  • गरम सामने बंदरगाह सब्सट्रेट लोड हो रहा है के साथ स्टेनलेस स्टील चैम्बर
  • 8 "व्यास substrates accommodates
  • 500 अप करने हीटिंग सब्सट्रेट डिग्री सेल्सियस
  • 200 के लिए गरम लाइनों डिग्री सेल्सियस
  • गैस interlocks के साथ पूरी तरह से थक कैबिनेट
  • नुस्खा चालित प्रक्रिया नियंत्रण सॉफ्टवेयर
  • दूरस्थ प्लाज्मा, लोड ताला, संवृत पाश नियंत्रण के साथ गैस bubbler विकल्प शामिल हैं:

Other Equipment