Serie di ALD 200L da Kurt J. Lesker Company

Serie di ALD 200L da Kurt J. Lesker Company

Sistemi autonomi di offerta ALD di Kurt J. Lesker Company per ricerca di base o sistemi completamente integrati di deposito per le applicazioni complesse di R & S. Tutte le nostre piattaforme del sistema di ALD caratterizzano le valvole ad alta velocità di ALD ed il pompaggio integrato, fanno pressione sulla misura ed intossicano i pacchetti della consegna ottimizzati per il vostro trattamento specifico.

Caratteristiche fondamentali:

  • Camera del reattore di flusso Viscoso ALD
  • La progettazione di Cabnit tiene conto il grande numero degli input del reattivo
  • Camera Heated dell'acciaio inossidabile con caricamento del substrato della fronte-porta
  • Accomoda 8" substrati del diametro
  • Substrato che riscalda fino a 500°C
  • Righe Heated a 200°C
  • Gabinetto Completamente esaurito con i collegamenti del gas
  • Software del controllo dei processi determinato Ricetta
  • Le Opzioni includono: plasma remoto; blocco del caricamento; vasca di gorgogliamento del gas con controllo di ciclo chiuso

Last Update: 11. January 2012 06:20

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