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Kurt J. Lesker Company에게서 ALD 200L 시리즈

기본 연구를 위한 Kurt J. Lesker Company 제안 독립 ALD 시스템 또는 복잡한 연구 및 개발 응용을 위한 완전하게 통합 공술서 시스템. 우리의 ALD 시스템 플래트홈 전부는 고속 ALD 벨브 및 특정 프로세스를 위해 낙관된 통합한 양수, 압력 측정 및 가스 납품 포장 특색짓습니다.

주요 특징:

  • 점성 교류 ALD 반응기 약실
  • Cabnit 디자인은 반응물 입력의 많은 수를 허용합니다
  • 정면 포트 기질 선적을 가진 격렬한 스테인리스 약실
  • 8개을 직경 기질 수용합니다
  • 500°C까지 가열하는 기질
  • 200°C에 격렬한 선
  • 가스 내부고정기에 완전히 소모된 장
  • 조리법에 의하여 모는 순서 관리 소프트웨어
  • 선택권은 다음을 포함합니다: 먼 플라스마; 짐 자물쇠; 닫힌 고리 제어를 가진 가스 버플러

Last Update: 11. January 2012 08:02

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