Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

200L Reeks ALD van Kurt J. Lesker Company

De aanbiedings stand-alone systemen ALD van Kurt J. Lesker Company voor basisonderzoek of volledig geïntegreerde depositosystemen voor de complexe toepassingen van R&D. Elk van onze ALD systeemplatforms kenmerken hoge snelheidsALD kleppen en het geïntegreerde pompen, drukmeting, en de pakketten van de gaslevering die voor uw specifiek proces worden geoptimaliseerd.

Zeer Belangrijke eigenschappen:

  • De Kleverige kamer van de stroomALD reactor
  • Het ontwerp van Cabnit staat voor groot aantal reactantinput toe
  • Verwarmde roestvrij staalkamer met de lading van het voor-havensubstraat
  • Past 8“ diametersubstraten aan
  • Het verwarmen van het Substraat tot 500°C
  • Verwarmde lijnen aan 200°C
  • Volledig uitgeput kabinet met gaskoppelingen
  • Recept gedreven procesbeheersingssoftware
  • De Opties omvatten: ver plasma; ladings slot; gas wasfles met gesloten lijncontrole

Last Update: 11. January 2012 06:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment