De aanbiedings stand-alone systemen ALD van Kurt J. Lesker Company voor basisonderzoek of volledig geïntegreerde depositosystemen voor de complexe toepassingen van R&D. Elk van onze ALD systeemplatforms kenmerken hoge snelheidsALD kleppen en het geïntegreerde pompen, drukmeting, en de pakketten van de gaslevering die voor uw specifiek proces worden geoptimaliseerd.
Zeer Belangrijke eigenschappen:
- De Kleverige kamer van de stroomALD reactor
- Het ontwerp van Cabnit staat voor groot aantal reactantinput toe
- Verwarmde roestvrij staalkamer met de lading van het voor-havensubstraat
- Past 8“ diametersubstraten aan
- Het verwarmen van het Substraat tot 500°C
- Verwarmde lijnen aan 200°C
- Volledig uitgeput kabinet met gaskoppelingen
- Recept gedreven procesbeheersingssoftware
- De Opties omvatten: ver plasma; ladings slot; gas wasfles met gesloten lijncontrole