Sistemas autônomos da oferta ALD de Kurt J. Lesker Empresa para a investigação básica ou sistemas completamente integrados do depósito para aplicações complexas do R&D. Todas nossas plataformas do sistema de ALD caracterizam válvulas de alta velocidade de ALD e bombeamento, medida da pressão, e os pacotes integrados da entrega do gás aperfeiçoados para seu processo específico.
Características Chaves:
- Câmara do reactor do fluxo Viscoso ALD
- O projecto de Cabnit permite o grande número de entradas do reagente
- Câmara de aço inoxidável Caloroso com carga da carcaça da dianteiro-porta
- Acomoda 8" carcaças do diâmetro
- Carcaça que aquece-se até 500°C
- Linhas Calorosos a 200°C
- Gabinete Inteiramente esgotado com bloqueios do gás
- Software controle de processos conduzido Receita
- As Opções incluem: plasma remoto; fechamento da carga; bebedoiro automático do gás com controle de laço fechado