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Série de ALD 200L de Kurt J. Lesker Empresa

Sistemas autônomos da oferta ALD de Kurt J. Lesker Empresa para a investigação básica ou sistemas completamente integrados do depósito para aplicações complexas do R&D. Todas nossas plataformas do sistema de ALD caracterizam válvulas de alta velocidade de ALD e bombeamento, medida da pressão, e os pacotes integrados da entrega do gás aperfeiçoados para seu processo específico.

Características Chaves:

  • Câmara do reactor do fluxo Viscoso ALD
  • O projecto de Cabnit permite o grande número de entradas do reagente
  • Câmara de aço inoxidável Caloroso com carga da carcaça da dianteiro-porta
  • Acomoda 8" carcaças do diâmetro
  • Carcaça que aquece-se até 500°C
  • Linhas Calorosos a 200°C
  • Gabinete Inteiramente esgotado com bloqueios do gás
  • Software controle de processos conduzido Receita
  • As Opções incluem: plasma remoto; fechamento da carga; bebedoiro automático do gás com controle de laço fechado

Last Update: 11. January 2012 08:05

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