基础研究的寇特 J. Lesker Company 聘用独立 ALD 系统或完全地复杂 R&D 应用的集成证言系统。 所有我们的 ALD 系统平台以高速 ALD 阀门为特色和为您的特定进程优选的集成的抽，压评定和气体发运程序包。
关键功能：
- 滞流 ALD 反应器房间
- Cabnit 设计允许反应剂输入的大数
- 与前端口基体装载的激昂的不锈钢房间
- 适应 8" 直径基体
- 加热至 500°C 的基体
- 对 200°C 的激昂的线路
- 充分地用尽的机柜以气体互锁
- 处方被驱动的程序控制的软件
- 选项包括： 远程等离子; 负荷锁定; 有闭合电路控制的气体饮水器