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从寇特 J. Lesker Company 的 ALD 200L 串联

基础研究的寇特 J. Lesker Company 聘用独立 ALD 系统或完全地复杂 R&D 应用的集成证言系统。 所有我们的 ALD 系统平台以高速 ALD 阀门为特色和为您的特定进程优选的集成的抽,压评定和气体发运程序包。

关键功能:

  • 滞流 ALD 反应器房间
  • Cabnit 设计允许反应剂输入的大数
  • 与前端口基体装载的激昂的不锈钢房间
  • 适应 8" 直径基体
  • 加热至 500°C 的基体
  • 对 200°C 的激昂的线路
  • 充分地用尽的机柜以气体互锁
  • 处方被驱动的程序控制的软件
  • 选项包括: 远程等离子; 负荷锁定; 有闭合电路控制的气体饮水器

Last Update: 11. January 2012 07:57

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