庫爾特 J. Lesker公司ALD的200L系列

庫爾特 J. Lesker公司提供獨立的ALD系統完全集成的基礎研究或沉積系統複雜的研發應用。我們所有的ALD系統平台功能高速ALD的閥門和綜合泵站,壓力測量,天然氣輸送包為您的具體過程進行了優化。

主要特點:

  • 粘性流動 ALD的反應堆室
  • Cabnit設計允許反應物投入大量
  • 前端端口基板裝載不銹​​鋼加熱室
  • 可容納 8“直徑基板
  • 基板加熱到500 ° C
  • 線加熱到200 ° C
  • 完全用盡氣櫃聯鎖
  • 配方驅動的過程控制軟件
  • 選項包括:遠程等離子體負載鎖;氣閉環控制起泡

Last Update: 24. October 2011 20:33

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