Aviza טכנולוגיה Celsior FXP מערכת אחת אלד ופלה

Celsior ™ FXP הוא יחיד הדור המתקדם של Aviza רקיק אלד מערכת ממוקד לייצור 300 מ"מ בצומת 90 ננומטר ומטה. Celsior FXP מציע תכונות מהפכניות התרחב כדי לעמוד בדרישות ייצור מורכבים את הגמישות ואת זמני מחזור קצרים עבור R & D.

פלטפורמה

Celsior FXP הוא תומך עד 5 מודולים תהליך התפוקה תפוקה משופרת. המערכת מתוכננת להיות גשר 200-mm/300-mm מציעים את הגמישות בתהליך ופלים 200mm ו / או 300mm על פלטפורמה זהה.

הייצור מוכחות ביצועים

תכונה מרכזית של Celsior FXP הוא חדר מעוצב בצורה יעילה החדשני, אשר מציע להגדיל תפוקה וכתוצאה מכך עלות נמוכה יותר של בעלות (COO). מאפיינים ייחודיים נוספים כוללים:

  • תא התגובה קטנים ניצול המודל מחשב הדינמיקה זרימת הגז כדי להפחית את עוצמת התגובה להסיר רווחים מיותרים, הקטנת שטחי זמין להיווצרות מום וכתוצאה מכך התשואות למות גבוה יותר
  • עיצוב המקלחת פטנט המאפשר אספקה ​​מהירה, גז אחיד כי הוא מסוגל הפגישה פחות מ 1 עובי אחוזים דרישות אחידות על פני פרוסות סיליקון 300 מ"מ
  • אמין, העברה מוכחת בתחום רכזת מרכזי, הכולל מערכת בקרת תרגום חזקים לתוך הרציף של המערכת גבוהה וזמינות
  • Extendibility וגמישות ידי מתן אפשרות לתוספות ליד תא חלקה התהליך של הוספת יכולת עתידית או חומר חדש בטכנולוגיית תהליך

תוצאות תהליך מעולה מיקוד 90 ננומטר ומטה:

  • מתקדם DRAM Capacitor דיאלקטריים Al 2 O 3 / HfSiOx
  • High-K שער HFO דיאלקטריים 2 / HfSiOx / HfTiOx
  • זיכרון פלאש דיאלקטריים Al 2 O 3 / HfSiOx
  • טמפרטורה נמוכה SiO 2
  • בטמפרטורה נמוכה פח
  • רותניום

Last Update: 10. October 2011 12:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment