Aviza технологии Celsior FXP одной пластины ALD системы

Celsior ™ FXP является развитого поколения Aviza в единую систему ALD пластины предназначены для 300-мм производство на 90-нм и ниже. Celsior FXP предлагает расширить революционные возможности для удовлетворения комплексных требований производства и гибкость и короткое время цикла R & D.

Платформа

Celsior FXP способна поддерживать до 5 процесс модули для расширения пропускной способности и производительности. Система предназначена для 200-mm/300-mm мост предлагает гибкость для обработки 200 мм и / или 300-мм подложек на той же платформе.

Производственно-высокой производительности

Ключевой особенностью Celsior FXP является его эффективно разработаны и инновационные камеры, что обеспечивает повышенную пропускную что привело к снижению стоимости владения (CoO). Другие уникальные особенности включают:

  • Малый реакционной камеры использованием компьютера моделируется динамика газового потока уменьшить объем реакции и удалить лишние пробелы сокращению площадей для образования дефектов ведет к повышению урожайности умереть
  • Запатентованная конструкция позволяет быстро душ, единой системы оказания газа, который в состоянии удовлетворить менее 1 процента требования к толщине единообразие 300-мм пластины
  • Надежный, проверенный передачи центрального узла, который включает в себя надежной системой контроля в переводе увеличения времени безотказной работы системы и доступность
  • Расширяемость и гибкость, позволяя возле бесшовных дополнений камеры Процесс добавления будущих возможностей или новых материалов и технологических процессов

Превосходные результаты процесса ориентации 90 нм и ниже:

  • Расширенный DRAM конденсатора диэлектриков Al 2 O 3 / HfSiOx
  • High-K диэлектрики ворот HfO 2 / HfSiOx / HfTiOx
  • Флэш-память диэлектриков Al 2 O 3 / HfSiOx
  • Низкая температура SiO 2
  • Низкая температура TiN
  • Рутений

Last Update: 10. October 2011 12:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment