System för Rån ALD för Singel för Aviza TeknologiCelsior fxP

Celsior™fxP är Avizas det nedanfört avancerade systemet för rånet ALD för utvecklingssingeln som uppsätta som mål för produktion för en mm 300 på knutpunkten för 90 nm och. Särdrag för revolutionären för Celsior fxP cyklar erbjudanden utvidgade som möter komplexa fabriks- krav och böjligheten och kort stavelse, tider för R&D.

Plattform

Celsior fxP är kapabel av understödjes upp till 5 processaa enheter för förhöjd genomgång och produktivitet. Systemet planläggs för att vara en 200 mm/300-mm överbryggar att erbjuda böjligheten att bearbeta 200mm och/eller 300mm rån på den samma plattformen.

Produktion-Bevisad kapacitet

Ett nyckel- särdrag av Celsior fxP är dess planlagt effektivt, och den innovativa kammaren, som erbjuder ökande genomgång resultera i lägre, kostar av äganderätt (CoO). Andra unika särdrag inkluderar:

  • Den Små reaktionskammaren som använder den modellerade datoren, gasar flödesdynamik för att förminska reaktionsvolymen, och att ta bort yttre utrymme-förminskande hoppar av områdena som är tillgängliga för, bildande resultera i högre matrisavkastningar
  • Den Patenterade duschdesignen låter foren som är enhetlig gasar leveransen som är kapabel av möte av krav för mer mindre än 1 procenttjocklekslikformighet över ett rån för en mm 300
  • Sätta in det bevisade centralöverföringsnavet, som inkluderar robustt kontrollerar system-översättning in i högre systemuptime och tillgänglighet, Pålitligt
  • Extendibility och Böjlighet, genom att låta nära seamless processaa kammaretillägg för att tillfoga framtida kapacitet eller ny materiell och processaa teknologi

Processaa resultat för Överman som uppsätta som mål 90 nm och nedanfört:

  • Avancerade SUPKondensatorDielectrics AlO23/HfSiOx
  • Kicken-K Utfärda utegångsförbud för Dielectrics HfO/HfSiOx/HfTiOx2
  • Pråliga MinnesDielectrics AlO23/HfSiOx
  • Låg Temperatur SiO2
  • TiN för Låg Temperatur
  • Ruthenium

Last Update: 23. January 2012 02:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment