Celsior™fxP 是為 300 mm 在這個 90 nm 節點的以下生產瞄準的 Aviza 的提前的生成唯一薄酥餅 ALD 系統。 Celsior fxP 提供膨脹的革命功能見面複雜製造需求和靈活性和短的循環時間的 R&D。
平臺
Celsior fxP 能够支持改進的處理量和生產率的 5 個處理模塊。 系統被設計是提供靈活性的 200 mm/300 mm 橋梁處理在同一個平臺的 200mm 並且/或者 300mm 薄酥餅。
生產證明的性能
Celsior fxP 關鍵功能是其高效地被設計的和創新房間，提供增加的處理量造成低價所有權 (CoO)。 其他唯一功能包括：
- 使用計算機被塑造的氣體流動力的小的回應房間減少回應數量和去除額外空間減少區可用為缺陷形成造成更高中斷產量
- 給予專利的淋浴噴頭設計允許急流，能够符合少於在 300 mm 薄酥餅間的 1% 厚度均一要求的統一氣體發運
- 可靠，現場以證實的中央調用插孔，包括系統轉換到更高的系統正常運行和可用性的魯棒控制
- Extendibility 和靈活性通過允許在無縫的處理房間添加附近添加的將來的能力或新的材料和加工技術
瞄準 90 毫微米的優越處理結果以下：
- 先進的微量電容器電介質 AlO23/HfSiOx
- 高的 k 門電介質 HfO/HfSiOx/HfTiOx2
- 閃存電介質 AlO23/HfSiOx
- 低溫 SiO2
- 低溫錫
- 釕