Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Sokudo Duo Fotolitografi coater / Udvikler

SOKUDO DUO er en innovativ fotolitografi coater / udvikler, der indeholder verdens første dual track system. Med dual-flow wafers, de SOKUDO DUO dramatisk øger throughput til 250-300 vafler i timen (wph), afhængig af systemkonfiguration, mens en kraftig nedsættelse af systemet fodaftryk. Den SOKUDO DUO konstruktion forbedrer wafer produktion pr arealenhed med op til 40% i forhold til forrige nummer systemer.

Løb dobbelte, parallelle proceslinier dramatisk forbedrer wafer gennemløb. Da belastningen er fordelt mellem to separate linjer, den SOKUDO DUO bidrager også til højere waferbehandling robotteknologi pålidelighed, da det giver reduceret wafer overførselshastigheder uden at kompromittere wafer gennemløb.

Den dobbelte-flow-koncept gør det muligt at køre hver wafer proces linje uafhængigt af hinanden. Vedligeholdelse kan udføres, mens systemet kører produktionen, hvilket reducerer systemets nedetid. Den samlede litografi celle wafer output, produktivitet er optimeret ved at holde pelsen / udvikle proces, der kører så dyrt fotolitografi eksponering scanneren tid er ikke spildt.

Den dobbelte proces line-systemet er en kompakt platform design, der væsentligt reducerer fodaftryk. Forskellige systemkonfigurationer kan skræddersys til at matche specifikke pels / udvikle applikationer, til at levere optimerede wafer udgang for de tilgængelige clean-room område.

SOKUDO'S lang dyrket teknisk know-how inden for pels, udvikle og bages teknologier blev fuldt indarbejdet i denne nye SOKUDO DUO platform til understøttelse af leading-edge litografi procesteknologi til fremtidens avancerede mønster krav. Systemet gør det muligt for fordybelse litografi dobbelt-mønster behandling og funktioner roman wafer rengøringsløsninger at levere den bedste førende litografi on-wafer resultater med højt udbytte.

Last Update: 3. October 2011 12:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment