Máquina De Pintar/Revelador de la Fotolitografía del Dúo de Sokudo

El DÚO de SOKUDO es una máquina de pintar/un revelador innovadores de la fotolitografía que incorpora el primer sistema del carril doble del mundo. Ofreciendo el fulminante del doble-flujo que tramita, el DÚO de SOKUDO refuerza dramáticamente la producción a 250-300 fulminantes por hora (wph), dependiendo de la configuración de sistema, mientras que substancialmente reduce huella del sistema. El diseño del DÚO de SOKUDO mejora rendimiento del fulminante por área de unidad por el hasta 40% comparado a los sistemas de carril anteriores.

Doble Corriente, líneas de proceso del paralelo mejora dramáticamente la producción del fulminante. Puesto Que la carga se distribuye entre dos líneas separadas, el DÚO de SOKUDO también contribuye a un fulminante más alto que maneja confiabilidad de la robótica puesto que activa velocidades reducidas de la transferencia del fulminante sin la producción de compromiso del fulminante.

El concepto del doble-flujo permite funcionar con cada línea de proceso del fulminante independientemente. El Mantenimiento se puede realizar mientras que el sistema es producción corriente, grandemente reduciendo tiempo fuera de servicio del sistema. El rendimiento total del fulminante de la célula de la litografía, productividad es optimizado guardando la cubierta/desarrolla el proceso que se ejecuta para no perder el tiempo costoso del analizador de la exposición de la fotolitografía.

La línea de proceso doble sistema es un diseño compacto de la plataforma que reduce importante huella. Las Diversas configuraciones de sistema se pueden adaptar a la cubierta específica del emparejamiento/desarrollan aplicaciones, para entregar el fulminante optimizado hecho salir para el área disponible del recinto limpio.

Los conocimientos técnicos técnicos largo-cultivados de SOKUDO en cubierta, desarrollan y cuecen tecnologías fueron incorporados completo en esta nueva plataforma del DÚO de SOKUDO para utilizar la tecnología de proceso de la litografía marginal para los requisitos que modelan avanzados de mañana. El sistema activa el tramitación doble-que modela de la litografía de la inmersión y soluciones nuevas de la limpieza del fulminante de las características para proveer de los mejores resultados marginales del en-fulminante de la litografía el alto rendimiento.

Last Update: 11. January 2012 08:07

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