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Sokudo डुओ Photolithography coater / डेवलपर

SOKUDO जोड़ी एक अभिनव photolithography coater / डेवलपर है कि दुनिया के पहले दोहरे ट्रैक प्रणाली शामिल है. विशेषता प्रवाह दोहरी वफ़र प्रसंस्करण, SOKUDO जोड़ी नाटकीय रूप से प्रति घंटे 250-300 वेफर्स (WPH) सिस्टम विन्यास पर निर्भर करता है, को throughput बढ़ा देता है, जबकि काफी प्रणाली पदचिह्न को कम करने. SOKUDO जोड़ी डिजाइन 40% द्वारा पिछले ट्रैक प्रणाली की तुलना में प्रति इकाई क्षेत्र वफ़र उत्पादन में सुधार.

दोहरी, समानांतर प्रक्रिया लाइनों चल रहा है नाटकीय रूप से वफ़र throughput के सुधार. के बाद से लोड के दो अलग लाइनों के बीच वितरित किया जाता है, SOKUDO जोड़ी भी उच्च वफ़र हैंडलिंग रोबोटिक्स विश्वसनीयता के लिए योगदान देता है क्योंकि यह वफ़र throughput के समझौता किए बिना कम वफ़र गति हस्तांतरण को सक्षम बनाता है.

दोहरी - प्रवाह अवधारणा के यह संभव प्रत्येक वफ़र प्रक्रिया लाइन को चलाने के लिए स्वतंत्र बनाता है. रखरखाव जबकि प्रणाली उत्पादन चल रहा है, बहुत प्रणाली डाउनटाइम कम किया जा सकता है है. समग्र लिथोग्राफी सेल वफ़र उत्पादन, उत्पादकता / कोट विकसित प्रक्रिया चल रहा है ताकि महंगी photolithography जोखिम स्कैनर समय व्यर्थ नहीं है रखने के द्वारा अनुकूलित है.

दोहरी प्रक्रिया लाइन प्रणाली एक कॉम्पैक्ट मंच डिजाइन उल्लेखनीय है कि पदचिह्न कम कर देता है. विभिन्न सिस्टम विन्यास विशिष्ट कोट मैच / अनुप्रयोगों के विकास के लिए उपलब्ध क्षेत्र को साफ कमरे के लिए अनुकूलित वफ़र उत्पादन देने के लिए सिलवाया किया जा सकता है.

SOKUDO लंबे समय से खेती तकनीकी पता कैसे कोट में, विकास और सेंकना प्रौद्योगिकियों को पूरी तरह से इस नए SOKUDO जोड़ी कल उन्नत patterning की आवश्यकताओं के लिए अग्रणी बढ़त लिथोग्राफी प्रक्रिया प्रौद्योगिकी का समर्थन मंच में शामिल थे. विसर्जन लिथोग्राफी डबल patterning के प्रसंस्करण सुविधाओं और उपन्यास वफ़र समाधान प्रदान करने के लिए सबसे अच्छा उच्च उपज के साथ अग्रणी बढ़त लिथोग्राफी परिणामों पर वफ़र सफाई प्रणाली सक्षम बनाता है.

Last Update: 24. October 2011 15:31

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