Sokudo 2중창 사진 평판 Coater/개발자

SOKUDO 2중창은 세계의 첫번째 이중 트랙 시스템을 통합하는 혁신적인 사진 평판 coater/개발자입니다. 가공하는 이중 교류 웨이퍼를 특색지어서, SOKUDO 2중창은, 시스템 구성에 따라서 밀어줍니다, 시간 당 (wph) 250-300의 웨이퍼에 극적으로 상당히 시스템 발자국을 감소시키고 있는 동안 처리량을. SOKUDO 2중창 디자인은 이전 학력별 반편성과 비교된 40%까지에 의하여 단위 넓이 당 웨이퍼 산출을 향상합니다.

운영하는 이중은 의 병렬 가공 선 극적으로 웨이퍼 처리량을 향상합니다. 짐이 2개의 개별 회선 사이에서 분산되기 때문에, SOKUDO 2중창은 또한 로봇 공학 신뢰도를 취급하는 더 높은 웨이퍼에 타협 웨이퍼 처리량 없이 감소되기 웨이퍼 이동 속도를 가능하게 하기 때문에 기여합니다.

이중 교류 개념은 각 웨이퍼 가공 선을 자주적으로 달리게 가능하게 합니다. 정비는 시스템이 운영하는 생산의 동안 능력을 발휘할 수 있어, 매우 시스템 가동불능시간을 감소시키. 전반적인 석판인쇄술 세포 웨이퍼 산출, 생산력은 외투를 지켜서 낙관되고 비싼 사진 평판 노출 스캐너 시간이 낭비되지 않다 그래야/달리는 프로세스를 개발합니다.

이중 가공 선 시스템은 중요하게 발자국을 감소시키는 조밀한 플래트홈 디자인입니다. 각종 시스템 구성은 일치 특정 외투에 맞추어질 수 있고/유효한 청정실 지역을 위해 출력된 낙관한 웨이퍼를 투발하기 위하여 응용을, 개발합니다.

외투에 있는 SOKUDO의 길 경작한 기술적인 노하우는 이 새로운 SOKUDO 2중창 플래트홈으로, 기술을 완전히 내일 향상된 모방 필수품을 위한 앞 가장자리 석판인쇄술 가공 기술을 지원하기 위하여 통합되었습니다 개발하고 굽습니다. 시스템은 높은 수확량을 최고 앞 가장자리 석판인쇄술 에 웨이퍼 결과를 제공하는 침수 석판인쇄술 두 배 모방 가공 및 특징 비발한 웨이퍼 청소 해결책을 가능하게 합니다.

Last Update: 11. January 2012 08:02

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