Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Sokudo Duo fotolitografi Coater / Utvikler

SOKUDO DUO er en innovativ fotolitografi coater / utbygger som inkorporerer verdens første dual sporet system. Med dual-flow wafer behandling, øker SOKUDO DUO dramatisk gjennomstrømning til 250-300 wafere per time (WPH), avhengig av systemkonfigurasjon, mens vesentlig reduserer system fotavtrykk. Den SOKUDO DUO utforming forbedrer wafer produksjonen per arealenhet med opptil 40% sammenlignet med forrige spor systemer.

Kjører dual, parallell prosess linjer forbedrer dramatisk wafer gjennomstrømming. Siden lasten er fordelt mellom to separate linjer, bidrar SOKUDO DUO også til høyere wafer håndtering robotikk pålitelighet siden det muliggjør redusert wafer overføringshastighet uten at det går wafer gjennomstrømming.

Den dual-flow konseptet gjør det mulig å kjøre hver wafer prosess linje uavhengig. Vedlikehold kan utføres mens systemet er i gang produksjon, noe som reduserer systemets nedetid. Den samlede litografi celle wafer-utgang, produktivitet er optimalisert ved å holde pelsen / utvikle prosess som kjører slik at dyre fotolitografi eksponering scanner tid er ikke bortkastet.

Den doble prosessen linjen systemet er en kompakt plattform design som reduserer fotavtrykk. Ulike system konfigurasjoner kan skreddersys for å passe spesielt belegg / utvikle applikasjoner, for å levere optimalisert wafer-utgang for de tilgjengelige clean-room området.

SOKUDO'S lang dyrket teknisk know-how i frakk, utvikle og bake teknologier var fullt innlemmet i denne nye SOKUDO DUO plattform for å støtte ledende litografi prosessteknologi for morgendagens avanserte mønster krav. Systemet muliggjør nedsenking litografi dobbel-mønster prosessering og funksjoner romanen wafer renhold løsninger for å gi best ledende litografi on-wafer resultater med høy kapasitet.

Last Update: 3. October 2011 09:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment