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Coater/Revelador da Fotolitografia do Duo de Sokudo

O DUO de SOKUDO é um coater/revelador inovativos da fotolitografia que incorpore sistema de trilha duplo do mundo o primeiro. Caracterizando a bolacha do duplo-fluxo que processa, o DUO de SOKUDO impulsiona dramàtica a produção a 250-300 bolachas pela hora (wph), segundo a configuração de sistema, ao substancialmente reduzir a pegada do sistema. O projecto do DUO de SOKUDO melhora a saída da bolacha pela área de unidade por até 40% comparado aos sistemas de trilha precedentes.

As linhas de processo duplas, paralelas Running melhoram dramàtica a produção da bolacha. Desde Que a carga é distribuída entre duas linhas separadas, o DUO de SOKUDO igualmente contribui a uma bolacha mais alta que segura a confiança da robótica desde que permite velocidades reduzidas de transferência da bolacha sem produção de comprometimento da bolacha.

O conceito do duplo-fluxo torna possível executar independente cada linha de processo da bolacha. A Manutenção pode ser executada quando o sistema for produção running, extremamente reduzindo o tempo ocioso da máquina do sistema. A saída total da bolacha da pilha da litografia, produtividade é aperfeiçoada mantendo o revestimento/desenvolve o processo que é executado de modo que o tempo caro do varredor da exposição da fotolitografia não seja desperdiçado.

A linha de processo dupla sistema é um projecto compacto da plataforma que reduza significativamente a pegada. As Várias configurações de sistema podem ser costuradas ao revestimento específico do fósforo/desenvolvem aplicações, para entregar a bolacha aperfeiçoada output para a área disponível da sala de limpeza.

O "knowhow" técnico longo-cultivado de SOKUDO no revestimento, desenvolve e coze tecnologias foi incorporado inteiramente nesta plataforma nova do DUO de SOKUDO para apoiar a tecnologia de processamento da litografia da vanguarda para exigências de modelação avançadas de amanhã. O sistema permite o processamento demodelação da litografia da imersão e soluções novas da limpeza da bolacha das características para fornecer os melhores resultados da em-bolacha da litografia da vanguarda o rendimento alto.

Last Update: 11. January 2012 08:05

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