Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Sokudo Duo Фотолитография Coater / Developer

SOKUDO DUO представляет собой инновационный фотолитографии для нанесения покрытий / разработчик, который включает в себя первый двойной системой в мире трассе. Обладая двойным потоком пластины обработки, SOKUDO DUO значительно повышает пропускную способность до 250-300 пластин в час (щ), в зависимости от конфигурации системы, в то время как существенно сократить система след. Дизайн SOKUDO DUO улучшает пластины выход на единицу площади на 40% по сравнению с системами предыдущего трека.

Запуск двух, параллельных технологических линий значительно повышает пропускную пластины. Так как нагрузка распределяется между двумя отдельными линиями, SOKUDO DUO также способствует повышению надежности обработки пластин робототехники так как она позволяет регулировать скорость чтения пластин передачи без снижения пропускной пластины.

Двойной поток концепция позволяет запускать каждую линию пластины процесс самостоятельно. Техническое обслуживание может быть выполнено в то время как система работает производства, что значительно сокращает время простоя системы. Общая литографии ячейки пластины выход, производительность оптимизирована, держа пальто / развиваться процесс работает так, что дорогие фотолитографии экспозиции сканер время не зря.

Двойная система технологической линии является компактный дизайн платформы, которая значительно уменьшает площадь. Различные конфигурации системы может быть сконфигурированы под конкретные пальто / разработке приложений, чтобы обеспечить оптимальную вывод пластин для доступных чистых комнатах области.

SOKUDO в долгосрочной выращивают технические ноу-хау в пальто, развивать и выпекать технологии были полностью включены в эту новую SOKUDO DUO платформы для поддержки передовых процесса литографии технологий современным требованиям завтрашнего кучность стрельбы. Система позволяет иммерсионной литографии дважды структурирование обработки и особенности романа пластины чистящие средства для обеспечения наилучшего передовые литографии на пластине результаты с высоким выходом.

Last Update: 10. October 2011 12:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment