Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Coater/Bärare för Sokudo DuoPhotolithography

SOKUDO-DUO är en innovativ photolithographycoater/bärare som inkorporerar den dubbelvärlden första spårar systemet. Presentera detflöde rånet som bearbetar, ökar SOKUDO-DUOEN dramatiskt, genomgång till 250-300 rån per timme (wph), beroende av systemkonfigurationen, förminskande systemfotspåret för stunder det väsentligen. SOKUDO-DUOdesignen förbättrar rånet som tillverkas per enhetsområde av 40% som jämförs till föregående, spårar upp till system.

Rinnande dubbel, den processaa parallellen fodrar förbättrar dramatiskt rångenomgång. Sedan ladda är utdelad mellan separata två fodrar, SOKUDO-DUOEN bidrar också till högre rån som behandlar roboticspålitlighet, sedan den möjliggör, den förminskande rånöverföringen rusar, utan att kompromissa rångenomgång.

Detflöde begreppet gör det möjlighet för att köra varje processaa rån fodrar självständigt. Underhåll kan vara den utförda stunden som systemet är den rinnande produktionen, väldeliga förminskande inaktiv tid för system. Total- det tillverkade lithographycellrånet, produktivitet optimeras, genom att hålla täcka/, framkallar processaa spring, så att dyr tid för photolithographyexponeringsbildläsaren inte slös bort.

Det dubbelprocessaa fodrar systemet är en kompakt plattformdesign som förminskar markant fotspår. Olika systemkonfigurationer kan anpassas till matchnärmare detalj täcker/framkallar applikationer, för att leverera det optimerade rånet som tillverkas för det tillgängliga rengöring-rum området.

SOKUDOS inkorporerades lång-odlade tekniska, veta-hur täcka, framkalla och in baka teknologier, fullständigt in i denna nya SOKUDO-DUOplattform för att stötta processaa teknologi för framkantlithography för morgondag avancerade mönstra krav. Systemet möjliggör dubblett-mönstra bearbeta för immersionlithography och presenterar nya rånlokalvårdlösningar för att ge de bäst framkantlithographypå-rånet resultaten med kickavkastning.

Last Update: 23. January 2012 02:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment