Posted in | Sputtering Systems

DCA L400 أدوات النظام الفائق التتفيل

تم تصميم نظام الاخرق الفائق L400 المغنطرون الاخرق لمتسلسلة مع المغناطيسي المنقولة. النظم التقليدية الاخرق متتابعة مع الكواكب الدوارة المرحلة الركيزة تقديم تسهيلات محدودة التلاعب الركيزة. في تصميم L400 المرحلة هو الركيزة الثابتة ويتم نقل المغناطيسي في تسلسل متعدد الطبقات المودعة. هذا يسمح باستخدام اخفاء الركيزة مع مصاريع المنقولة ، والعاصمة والتحيز RF الركيزة ، وترسب إسفين السمتي تناوب الركيزة -- ميزات لا تتوافر في أي نظام الاخرق الأخرى.

غرفة L400 ترسب لديه شفة تفاضليا ضخ رئيسية للوصول السريع إلى المغناطيسي. حركة المغنطرون والفهرسة هو الكمبيوتر التي تسيطر عليها تماما صفة السماح ترسب استنادا رقيقة من الأفلام متعددة الطبقات.

ويمكن استخدام نظام الاخرق من العوازل والمعادن والمواد المغناطيسية باستخدام الترددات اللاسلكية أو الاخرق العاصمة. حجم الهدف الأقصى هو 4 "في القطر.

Last Update: 10. October 2011 12:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment