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Instrumentos L400 UHV do DCA que Engasgam o Sistema

Instrumentos L400 UHV do DCA que Engasgam o Sistema

O magnétron de L400 UHV que engasga o sistema é projectado para engasgar seqüencial com magnétrons móveis. Os sistemas seqüenciais Convencionais engasgar com giro da fase planetária da carcaça fornecem facilidades limitadas da manipulação da carcaça. No projecto L400 a fase da carcaça é estacionária e os magnétrons são movidos em ordem do multilayer depositado. Isto permite o uso da carcaça que mascara com polarização móvel dos obturadores, da carcaça do RF e da C.C., depósito da cunha e rotação azimuthal da carcaça - características nao disponíveis em todo o outro sistema engasgar.

A câmara do depósito L400 tem uma flange principal diferencial bombeada para o acesso rápido aos magnétrons. O movimento e o índice do magnétron são depósito baseado receita reservando inteiramente controlado por computador de filmes finos multilayer.

O sistema pode ser usado engasgando dos metais, dos isoladores e de materiais magnéticos usando engasgar do RF ou da C.C. O tamanho máximo do alvo é 4" no diâmetro.

Last Update: 3. June 2015 10:06

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