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कैम्ब्रिज नैनोटेक F200 परमाणु परत बयान प्रणाली फिजी

कैम्ब्रिज नैनोटेक फिजी F200 श्रृंखला हमारी सबसे उन्नत ALD अनुसंधान और विकास प्रणाली है. फिजी एक मॉड्यूलर उच्च वैक्यूम ALD प्रणाली है कि बयान मोड का उपयोग एक लचीला प्रणाली वास्तुकला और व्यापारियों और प्लाज्मा गैसों के कई विन्यास की एक विस्तृत श्रृंखला accommodates है. परिणाम एक नई पीढ़ी ALD थर्मल प्लाज्मा बढ़ाया बयान के रूप में के रूप में अच्छी तरह से कर रही करने में सक्षम मंच है.

कैम्ब्रिज नैनोटेक फिजी F200 ALD रिएक्टर, हीटर और जाल ज्यामिति का अनुकूलन के लिए उन्नत कम्प्यूटेशनल द्रव डायनेमिक्स विश्लेषण के साथ अपने प्रमुख ALD विशेषज्ञता संयुक्त है. hyperboloid रिएक्टर ठोस अनुवृत्त सब्सट्रेट हीटर के साथ संयुक्त ज्यामिति एक लामिना का अग्रदूत और दूरदराज के कट्टरपंथी प्रवाह उत्पन्न प्लाज्मा बनाता है. डिजाइन के इस प्रकार है कि आप केवल जानकार ALD विशेषज्ञों से प्राप्त कर सकते हैं, बयान एकरूपता और कम से कम समय चक्र और अग्रदूत उपयोग का अनुकूलन.

200 फिजी दोहरी चैंबर और लोड लॉक सहित कई अलग अलग विन्यास में आता है. प्रत्येक कक्ष के साथ विन्यस्त किया जा सकता है है छह हीटर अग्रदूत लाइनों और 5 प्लाज्मा गैस लाइनों के लिए, एक कॉम्पैक्ट पदचिह्न में सबसे बड़ी प्रयोगात्मक लचीलेपन की पेशकश. कृपया हमें पता है कि अपने ALD की जरूरत है क्या कर रहे हैं और हम एक फिजी प्रणाली है कि आप के लिए सही है कॉन्फ़िगर कर सकते हैं.

Last Update: 5. October 2011 21:56

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