케임브리지 NanoTech 피지 F200 원자 층 공술서 시스템

케임브리지 NanoTech 피지 F200 원자 층 공술서 시스템

케임브리지 NanoTech 피지 F200 시리즈는 우리의 가장 진보된 ALD 연구와 개발 시스템입니다. 피지는 선구자와 플라스마 가스의 유연한 시스템 구조 그리고 다중 윤곽을 사용하여 공술서 최빈값의 광범위를 수용하는 모듈 높 진공 ALD 시스템입니다. 결과는 열의 뿐 아니라 플라스마 강화한 공술서를 하기 가능한 새로운 세대 ALD 플래트홈입니다.

케임브리지 NanoTech는 향상된 컴퓨터 유체 역학 분석에 그것의 주요한 ALD 피지 F200 ALD 반응기, 히이터 및 함정 기하학을 낙관하기 위하여 전문 기술을 결합했습니다. 포물면 기질 히이터와 결합된 hyperboloid 반응기 기하학은 박판 모양 선구자 및 먼 플라스마에 의하여 생성된 과격한 교류를 만듭니다. 당신이 지식이 있는 ALD 전문가에게서만 얻을 수 있고, 공술서 균등성을 낙관하고 주기 시간과 선구자 사용을 극소화하는 디자인의 이 모형.

피지 200는 이중 약실과 짐 자물쇠를 포함하여 몇몇 다른 윤곽 들어옵니다. 각 약실은 조밀한 발자국에 있는 가장 중대한 실험적인 융통성을 제안하는 6개까지 히이터 선구자 선 및 5개의 플라스마 가스관으로 구성될 수 있습니다. 저희가 ALD 필요가이고 우리가 당신을 위해 맞은 피지 시스템을 구성해 좋은 무슨 알게 하십시오.

Last Update: 3. June 2015 10:05

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