Systeem van het Deposito van de Laag van Cambridge NanoTech Fiji F200 het Atoom

Systeem van het Deposito van de Laag van Cambridge NanoTech Fiji F200 het Atoom

De reeks van Cambridge NanoTech Fiji F200 is ons meest geavanceerde onderzoek ALD en ontwikkelingssysteem. Fiji is een modulair high-vacuum systeem ALD dat een brede waaier van depositowijzen gebruikend een flexibele systeemarchitectuur en veelvoudige configuraties van voorlopers en plasmagassen aanpast. Het resultaat is een nieuw generatieALD platform geschikt om thermisch evenals plasma-verbeterd deposito te doen.

Cambridge NanoTech heeft zijn belangrijke deskundigheid ALD met de geavanceerde Computer Vloeibare analyses van de Dynamica gecombineerd om de reactor van Fiji F200 ALD, verwarmer en valmeetkunde te optimaliseren. De meetkunde van de hyperboloidreactor die met de paraboloid substraatverwarmer wordt gecombineerd leidt tot een laminaire voorloper en tot een verre plasma geproduceerde radicale stroom. Dit type van ontwerp dat u van goed geïnformeerde deskundigen kunt slechts worden ALD, depositouniformiteit optimaliseert en cyclustijd en voorlopergebruik minimaliseert.

Fiji 200 komt in verscheidene verschillende configuraties met inbegrip van het Dubbele Slot van de Kamer en van de Lading. Elke kamer kan met maximaal zes lijnen van de verwarmervoorloper en 5 plasmagasleidingen worden gevormd, die de grootste experimentele flexibiliteit in een compacte voetafdruk aanbieden. Gelieve te laten ons weten wat uw behoeften ALD zijn en wij een systeem van Fiji kunnen vormen dat voor u juist is.

Last Update: 3. June 2015 10:04

Other Equipment by this Supplier