Sistema Atômico do Depósito da Camada de Cambridge NanoTech Fiji F200

A série de Cambridge NanoTech Fiji F200 é nosso sistema mais avançado da investigação e desenvolvimento de ALD. O Fiji é um sistema modular do alto-vácuo ALD que acomode uma vasta gama de modos do depósito usando uma arquitetura de sistema flexível e umas configurações múltiplas dos precursores e dos gáss do plasma. O resultado é uma plataforma da nova geração ALD capaz de fazer o depósito térmico assim como plasma-aumentado.

Cambridge NanoTech combinou sua experiência principal de ALD com as análises Computacionais avançadas da Dinâmica de Fluidos para aperfeiçoar o reactor de Fiji F200 ALD, o calefator e a geometria da armadilha. A geometria do reactor do hyperboloid combinada com o calefator da carcaça do parabolóide cria um precursor laminar e plasma remoto um fluxo radical gerado. Este tipo de projecto que você pode somente obter dos peritos conhecedors de ALD, aperfeiçoa a uniformidade do depósito e minimiza o tempo de ciclo e o uso do precursor.

O Fiji 200 vem em diversas configurações diferentes que incluem o Fechamento Duplo da Câmara e da Carga. Cada câmara pode ser configurada com as até seis linhas do precursor do calefator e as 5 linhas de gás do plasma, oferecendo a grande flexibilidade experimental em uma pegada compacta. Deixe-nos Por Favor conhecer quais suas necessidades de ALD são e nós podemos configurar um sistema de Fiji que seja direito para você.

Last Update: 11. January 2012 08:05

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