Система Низложения Слоя Кембриджа NanoTech Фиджии F200 Атомная

Система Низложения Слоя Кембриджа NanoTech Фиджии F200 Атомная

Серия Кембриджа NanoTech Фиджии F200 наша самая предварительная система научных исследований и разработки ALD. Фиджии модульная система глубокого вакуума ALD которая приспосабливает широкий диапазон режимов низложения используя зодчество гибкой системы и множественные конфигурации прекурсоров и газов плазмы. Результат платформа нового поколения ALD способная делать термальное так же, как плазм-увеличенное низложение.

Кембридж NanoTech совмещало свою ведущую экспертизу ALD с предварительными Вычислительными анализами Динамики Жидкостей и Газов для того чтобы оптимизировать реактор Фиджии F200 ALD, подогреватель и геометрию ловушки. Геометрия реактора hyperboloid совмещенная с подогревателем субстрата параболоида создает ламинарный прекурсор и дистанционной произведенную плазмой радикальную подачу. Этот тип конструкции который вы можете только получить от знающих специалистов ALD, оптимизируете единообразие низложения и уменьшаете время цикла и пользу прекурсора.

Фиджии 200 приходит в несколько различных конфигураций включая Двойной Замок Камеры и Нагрузки. Каждую камеру можно установить при до 6 линий прекурсора подогревателя и 5 газопроводов плазмы, предлагая большую экспириментально гибкость в компактном следе ноги. Пожалуйста препятствуйте нам знать чего ваши потребности ALD и мы можем установить систему Фиджии которая права для вас.

Last Update: 3. June 2015 10:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier