Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Кембридж Нанотех Фиджи F200 атомной системы слоевого осаждения

Кембридж Нанотех Фиджи F200 серия наши самые передовые ALD исследования и разработки системы. Фиджи представляет собой модульную высокого вакуума ALD система, которая вмещает широкий спектр осаждения режимов с помощью гибкой архитектуры системы и несколько конфигураций прекурсоров и плазменных газов. В результате нового поколения ALD платформы, способной делать тепловые, а также плазмы повышенной осаждения.

Кембридж Нанотех объединил свои лидирующие ALD опытом с передовой вычислительной гидродинамики анализ для оптимизации Фиджи F200 ALD реактора, обогреватель и ловушки геометрии. Гиперболоид геометрии реактора в сочетании с параболоида нагреватель подложки создает предшественник ламинарного и удаленной плазмы, генерируемой радикальные течения. Этот вид дизайна, который вы можете получить только от знающих специалистов ALD, оптимизирует однородности осаждения и минимизирует время цикла и прекурсоров использования.

Фиджи 200 поставляется в нескольких различных конфигурациях, включая двойной палаты и нагрузки Lock. Каждая камера может быть настроена с шестью нагреватель предшественником линий и 5 линий плазменного газа, предлагая наибольший экспериментальный гибкость в компактном корпусе. Пожалуйста, дайте нам знать, что ваш ALD потребности, и мы можем настроить системы Фиджи, который подходит именно вам.

Last Update: 3. October 2011 09:43

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment