剑桥 NanoTech 斐济 F200 串联是我们最先进的 ALD 研究与开发系统。 斐济是使用前体和等离子气体的一种灵活的系统建筑和多个配置，适应各种各样的证言模式的一个模件高真空 ALD 系统。 这个结果是一个新一代 ALD 平台能够执行热量以及等离子改进的证言。
剑桥 NanoTech 结合其主导的 ALD 专门技术以先进的计算流体动力学分析优选斐济 F200 ALD 反应器、加热器和陷井几何。 与抛物面基体加热器结合的 hyperboloid 反应器几何创建层流前体和远程等离子被生成的根本流。 您能从熟知 ALD 专家只获得，优选证言均一并且使循环时间和前体使用减到最小的此种设计。
斐济 200 进来几种不同的配置包括双重房间和负荷锁定。 每个房间可以配置以六条加热器前体线路和 5 条等离子排气管，提供在一个紧凑脚印的最极大的实验灵活性。 请告诉我们什么您的 ALD 需要是，并且我们可以配置为您是合适的斐济系统。