剑桥 NanoTech 斐济 F200 基本层证言系统

剑桥 NanoTech 斐济 F200 串联是我们最先进的 ALD 研究与开发系统。 斐济是使用前体和等离子气体的一种灵活的系统建筑和多个配置,适应各种各样的证言模式的一个模件高真空 ALD 系统。 这个结果是一个新一代 ALD 平台能够执行热量以及等离子改进的证言。

剑桥 NanoTech 结合其主导的 ALD 专门技术以先进的计算流体动力学分析优选斐济 F200 ALD 反应器、加热器和陷井几何。 与抛物面基体加热器结合的 hyperboloid 反应器几何创建层流前体和远程等离子被生成的根本流。 您能从熟知 ALD 专家只获得,优选证言均一并且使循环时间和前体使用减到最小的此种设计。

斐济 200 进来几种不同的配置包括双重房间和负荷锁定。 每个房间可以配置以六条加热器前体线路和 5 条等离子排气管,提供在一个紧凑脚印的最极大的实验灵活性。 请告诉我们什么您的 ALD 需要是,并且我们可以配置为您是合适的斐济系统。

Last Update: 11. January 2012 07:57

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