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劍橋納米技術斐濟 F200的原子層沉積系統

劍橋納米技術斐濟 F200系列是我們最先進的ALD的研究和開發體系。斐濟是一個模塊化的高真空的ALD系統,可以容納廣泛的沉積模式,使用一個靈活的系統架構和多種配置的前體和等離子氣體。其結果是新一代ALD的平台能夠做等離子體增強沉積熱作為的。

劍橋納米技術結合了其領先的ALD的專業知識與先進的計算流體力學分析,優化斐濟 F200的ALD反應器,加熱器和陷阱幾何。結合拋物面基板加熱器的曲面反應堆幾何創建一個層易制毒化學和遠程等離子體產生的自由基流。這種類型的設計,你只能從知識淵博的ALD的專家,優化沉積的均勻性和減少週期時間和使用易制毒化學。

斐濟 200有幾種不同的配置,包括雙商會和負載鎖定。每個分庭可以配置最多六個熱水器易制毒化學系和5等離子氣體線,在一個緊湊的空間內提供了最大的實驗靈活性。請讓我們知道您的ALD的需要,我們可以配置一個適合您的斐濟系統。

Last Update: 8. October 2011 03:18

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