劍橋 NanoTech 斐濟 F200 基本層證言系統

劍橋 NanoTech 斐濟 F200 基本層證言系統

劍橋 NanoTech 斐濟 F200 串聯是我們最先進的 ALD 研究與開發系統。 斐濟是使用前體和等離子氣體的一種靈活的系統建築和多個配置,適應各種各樣的證言模式的一個模件高真空 ALD 系統。 這個結果是一個新一代 ALD 平臺能够執行熱量以及等離子改進的證言。

劍橋 NanoTech 結合其主導的 ALD 專門技術以先進的計算流體動力學分析優選斐濟 F200 ALD 反應器、加熱器和陷井幾何。 與拋物面基體加熱器結合的 hyperboloid 反應器幾何創建層流前體和遠程等離子被生成的根本流。 您能從熟知 ALD 專家只獲得,優選證言均一并且使循環時間和前體使用減到最小的此種設計。

斐濟 200 進來幾種不同的配置包括雙重房間和負荷鎖定。 每個房間可以配置以六條加熱器前體線路和 5 條等離子排氣管,提供在一個緊湊腳印的最極大的實驗靈活性。 請请告訴我們什麼您的 ALD 需要是,并且我們可以配置為您是合適的斐濟系統。

Last Update: 3. June 2015 10:03

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