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NanoLith 7000 de Cymer Inc.

Un diseño de cuarta generación, el NanoLithTM 7000 proporciona a de potencia de salida y a la estabilidad requeridas mientras que proporciona a una anchura de banda altamente línea-estrechada para cumplir los requisitos rigurosos de la producción en grandes cantidades hoy. El NanoLith 7000 ofrece una anchura de banda de < 0,5 P.M. FWHM y < 1,3 P.M. el integral de energía del 95 por ciento, que permite a los analizadores de la siguiente-generación con los altos lentes de la Apertura Numérica producir la resolución para el submarino 100 dispositivos del nanómetro.

Los fabricantes de chips De Hoy buscan las fuentes de luz que hacen la transición crítica en longitud de onda de la exposición a partir del 248 nanómetro usando el fluoruro del criptón (KrF) a 193 nanómetro usando el fluoruro del argón (ArF) mientras que mantienen las demandas del funcionamiento y del volumen de la fabricación de la corriente principal. El NanoLith 7000 fue diseñado para cubrir estas demandas.

Considere estas ventajas del NanoLith 7000:

  • El Módulo de la Estabilización de la Longitud De Onda (WSM) entrega mando de sintonización de la longitud de onda de la alta exactitud para asegurar mando óptimo del enfoque, latitud de exposición máxima, y mando mejorado del CD.
  • Las herramientas Altamente sofisticadas de la metrología optimizan la distribución espectral para entregar el margen de proceso máximo.
  • Las mejorías de la eficiencia del Diseño refuerzan cursos de la vida del módulo por un factor de cinco o más dando por resultado un 80 por ciento previsto de costo de reducción (CoC) de los materiales de consumo sobre los sistemas de ArF de 5000 Series.
  • Confiabilidad que usted puede contar conectado y la concordancia con todas las normas de seguridad toma el NanoLith 7000 la decisión para los fabricantes de chips mundial.
  • Confiabilidad que usted puede contar conectado y la concordancia con todas las normas de seguridad toma el NanoLith 7000 la decisión para los fabricantes de chips mundial.

Last Update: 11. January 2012 08:07

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