NanoLith 7000 de Cymer Inc.

NanoLith 7000 de Cymer Inc.

Un design de quatrième génération, le NanoLithTM 7000 fournit la puissance de sortie et la stabilité exigées tout en fournissant une largeur de bande fortement ligne-rétrécie pour répondre aux besoins rigoureux de la production à fort débit aujourd'hui. Le NanoLith 7000 offre une largeur de bande de < le 12h5 FWHM et < l'intégrale d'énergie de % de 13h3 95, qui permet aux balayeurs de la deuxième génération avec des objectifs élevés d'Ouverture Numérique de produire la définition pour le sous-marin 100 dispositifs de nanomètre.

Les fabricants de circuits intégrés D'aujourd'hui recherchent les sources lumineuses qui effectuent le passage critique dans la longueur d'onde d'exposition à partir de 248 nanomètre utilisant le fluorure de krypton (KrF) à 193 nanomètre utilisant le fluorure d'argon (ArF) tout en mettant à jour les exigences de performance et de volume de la fabrication de courant principal. Le NanoLith 7000 a été conçu pour satisfaire ces exigences.

Considérez ces avantages du NanoLith 7000 :

  • Le Module de Stabilisation de Longueur D'onde (WSM) fournit le contrôle de ajustement de grande précision de longueur d'onde pour assurer le contrôle optimal de foyer, la latitude d'exposition maximum, et le contrôle CD amélioré.
  • Les outils Hautement sophistiqués de métrologie optimisent la distribution spectrale pour fournir la marge de processus maximum.
  • Les améliorations d'efficience de Design amplifient des vies de module par un facteur de cinq ou plus ayant pour résultat des 80 pour cent prévu de coût de réduction (CoC) de consommables plus de systèmes d'ArF de 5000 Séries.
  • Fiabilité que vous pouvez compter en circuit et la conformité à toutes les règles de sécurité rendent le NanoLith 7000 le choix pour des fabricants de circuits intégrés mondial.
  • Fiabilité que vous pouvez compter en circuit et la conformité à toutes les règles de sécurité rendent le NanoLith 7000 le choix pour des fabricants de circuits intégrés mondial.

Last Update: 3. June 2015 10:04

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