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NanoLith 7000 de Cymer Inc

Un design de quatrième génération, le 7000 offre NanoLithTM la puissance de sortie et la stabilité requises tout en offrant une bande passante hautement ligne rétrécie afin de répondre aux exigences rigoureuses de la production en volume élevé aujourd'hui. Le 7000 offre une bande passante NanoLith de <FWHM 12h05 et <13:03 95 pour cent d'énergie intégrante, qui permet de prochaine génération avec des scanners haute ouverture numérique des lentilles pour produire de la résolution pour les appareils sous 100 nm.

Aujourd'hui, les fabricants de puces de rechercher des sources de lumière qui font la transition critique dans l'exposition d'onde de 248 nm à l'aide de fluorure de krypton (KrF) à 193 nm en utilisant le fluorure d'argon (ArF), tout en maintenant les exigences de performance et de volume de fabrication traditionnelle. Le 7000 NanoLith été conçue pour répondre à ces exigences.

Considérez ces avantages de la NanoLith 7000:

  • La longueur d'onde de stabilisation Module (WSM) propose des longueurs d'onde de contrôle de précision de réglage pour assurer le contrôle de mise au point optimale, la latitude d'exposition maximale, et contrôler les CD amélioré.
  • Outils de métrologie hautement sophistiqué optimiser la distribution spectrale de constituer une marge maximale du processus.
  • Améliorations de l'efficacité de conception stimuler la durée de vie du module par un facteur de cinq ou plus entraîne une attendus 80 pour cent des coûts de consommables (CdC) de réduction sur les systèmes de la série 5000 ArF.
  • Fiabilité, vous pouvez compter sur et la conformité avec les règlements de sécurité font l'NanoLith 7000 le choix pour les fabricants de puces dans le monde entier.
  • Fiabilité, vous pouvez compter sur et la conformité avec les règlements de sécurité font l'NanoLith 7000 le choix pour les fabricants de puces dans le monde entier.

Last Update: 3. October 2011 22:06

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