NanoLith 7000 dari Cymer Inc

Sebuah desain keempat generasi, 7000 NanoLithTM memberikan daya output yang dibutuhkan dan stabilitas sambil memberikan bandwidth yang sangat menyempit line untuk memenuhi persyaratan ketat dari produksi saat ini volume tinggi. The 7000 NanoLith menawarkan bandwidth <12:05 FWHM dan <01:03 95 persen terpisahkan energi, yang memungkinkan generasi berikutnya scanner dengan tinggi lensa aperture numerik untuk menghasilkan resolusi untuk sub 100 perangkat nm.

Produsen chip hari ini mencari sumber cahaya yang membuat transisi kritis dalam paparan panjang gelombang dari 248 nm menggunakan fluorida kripton (KrF) untuk 193 nm menggunakan argon fluorida (ARF) sambil mempertahankan tuntutan kinerja dan volume manufaktur utama. The 7000 NanoLith dirancang untuk memenuhi tuntutan tersebut.

Pertimbangkan manfaat dari NanoLith 7000:

  • Para Panjang gelombang Stabilisasi Modul (WSM) memberikan akurasi kontrol tala panjang gelombang tinggi untuk memastikan pengendalian fokus yang optimal, lintang paparan maksimum, dan kontrol CD ditingkatkan.
  • Alat metrologi sangat canggih mengoptimalkan distribusi spektral untuk memberikan marjin proses maksimal.
  • Desain peningkatan efisiensi meningkatkan daya tahan modul dengan faktor lima atau lebih mengakibatkan biaya 80 persen diharapkan dari habis (CoC) pengurangan lebih dari 5000 ARF Seri sistem.
  • Keandalan Anda dapat mengandalkan dan mematuhi semua peraturan keselamatan membuat NanoLith 7000 pilihan bagi produsen chip di seluruh dunia.
  • Keandalan Anda dapat mengandalkan dan mematuhi semua peraturan keselamatan membuat NanoLith 7000 pilihan bagi produsen chip di seluruh dunia.

Last Update: 4. October 2011 00:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment