NanoLith 7000 da Cymer Inc.

NanoLith 7000 da Cymer Inc.

Una progettazione della quarta generazione, il NanoLithTM 7000 fornisce il potenza di uscita e la stabilità richieste mentre fornisce una larghezza di banda altamente riga-limitata per soddisfare oggi le richieste rigorose di produzione in grande quantità. Il NanoLith 7000 offre una larghezza di banda < di 0,5 pm FWHM e < 1,3 pm la totalità di energia di 95 per cento, che permette agli scanner di prossima generazione con le alte lenti dell'Apertura diaframma Numerica di produrre la risoluzione per il sottomarino 100 unità di nanometro.

Gli Odierni chipmaker cercano le sorgenti luminose che fanno la transizione critica nella lunghezza d'onda dell'esposizione da 248 nanometro facendo uso del fluoruro del cripto (KrF) a 193 nanometro facendo uso del fluoruro dell'argon (ArF) mentre mantengono le domande del volume e della prestazione di fabbricazione della corrente principale. Il NanoLith 7000 è stato destinato per rispondere a queste esigenze.

Consideri questi vantaggi del NanoLith 7000:

  • Il Modulo di Stabilizzazione di Lunghezza D'onda (WSM) consegna il controllo di sintonia di lunghezza d'onda di alta precisione per assicurare il controllo ottimale del fuoco, la latitudine di esposizione massima ed il controllo migliore del CD.
  • Gli strumenti Altamente specializzati della metrologia ottimizzano la distribuzione spettrale per consegnare il margine trattato di massimo.
  • I miglioramenti di risparmio di temi di Progettazione amplificano le vite del modulo da un fattore di cinque o più con conseguente 80 per cento previsto di costo di riduzione (CoC) dei materiali di consumo oltre i sistemi di ArF di 5000 Serie.
  • Affidabilità che potete contare sopra e la conformità with tutte le norme di sicurezza opera al NanoLith 7000 la scelta per i chipmaker mondiale.
  • Affidabilità che potete contare sopra e la conformità with tutte le norme di sicurezza opera al NanoLith 7000 la scelta per i chipmaker mondiale.

Last Update: 3. June 2015 10:04

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