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NanoLith 7000 da Cymer Inc.

Una quarta generazione di design, il 7000 NanoLithTM fornisce la potenza necessaria in uscita e stabilità, fornendo una larghezza di banda molto ristretta linea per soddisfare i severi requisiti di produzione ad alto volume di oggi. Il 7000 NanoLith offre una larghezza di banda di <12:05 FWHM e <95 01:03 integrante energia per cento, che consente di nuova generazione con scanner ad alta lenti Apertura numerica per produrre la risoluzione per sub 100 dispositivi nm.

Produttori di chip di oggi cercano fonti di luce che rendono il passaggio critico nella lunghezza d'onda l'esposizione da 248 nm con fluoro kripton (KRF) a 193 nm con fluoruro di argon (ARF), pur mantenendo le esigenze di prestazioni e volume di produzione mainstream. Il 7000 NanoLith è stato progettato per soddisfare queste esigenze.

Questi benefici del NanoLith 7000:

  • La lunghezza d'onda di stabilizzazione Module (WSM) offre la massima precisione di messa a punto di controllo lunghezza d'onda per assicurare un controllo ottimale messa a fuoco, latitudine di esposizione massima e controllo CD migliorato.
  • Strumenti di metrologia altamente sofisticati ottimizzare la distribuzione spettrale per fornire il massimo margine di processo.
  • Miglioramenti dell'efficienza di progettazione spinta vite modulo di un fattore cinque o più con un conseguente costo previsto 80 per cento dei materiali di consumo (CoC) riduzione oltre 5000 Series sistemi ARF.
  • L'affidabilità si può contare su e rispetto di tutte le norme di sicurezza rendono il NanoLith 7000 la scelta per produttori di chip a livello mondiale.
  • L'affidabilità si può contare su e rispetto di tutte le norme di sicurezza rendono il NanoLith 7000 la scelta per produttori di chip a livello mondiale.

Last Update: 26. October 2011 19:54

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