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Cymer Inc. からの NanoLith 7000。

第四世代デザインは、 NanoLithTM 7000 大量の生産の厳しい条件を今日満たすために非常にライン狭くされた帯域幅を提供している間必須の出力電力および安定性を提供します。 NanoLith 7000 は < 0.5 pm FWHM の帯域幅を < 1.3 pm 高い開口数レンズが付いている次世代のスキャンナーが 100 つの nm 装置潜水艦のための解像度を作り出すことを可能にする 95% エネルギー全体提供し。

今日のチップメーカーはクリプトンのフッ化物 (KrF) を使用して 248 nm からアルゴンのフッ化物 (ArF) を使用して 193 nm への露出の波長の重大な転移を主流の製造業のパフォーマンスおよびボリューム要求を維持している間する光源を追求します。 NanoLith 7000 はこれらの要求に応じるように設計されていました。

NanoLith 7000 のこれらの利点を考慮して下さい:

  • 波長安定モジュールは (WSM)最適の焦点制御、最大露出寛容度および改善された CD 制御を保障するために高精度な調整の波長制御を提供します。
  • 非常に高度な度量衡学のツールは最大プロセスマージンを提供するために分光分布を最適化します。
  • デザイン効率の改善は 5 の要因によってモジュールの寿命または 5000 のシリーズ ArF システム上の消耗品の減少の費用 (CoC)期待された 80% に終って多くを後押しします。
  • あなたが数えることができるおよびすべての安全規則の承諾は NanoLith 7000 にチップメーカーのための選択を世界的にします信頼性。
  • あなたが数えることができるおよびすべての安全規則の承諾は NanoLith 7000 にチップメーカーのための選択を世界的にします信頼性。

Last Update: 11. January 2012 08:01

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