Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

NanoLith 7000 от Cymer Inc.

Конструкция четверт-поколения, NanoLithTM 7000 обеспечивает необходимые силу и стабилность выхода пока обеспечивающ, что сильно лини-сужанная ширина полосы частот соотвествовала строгие высокообъемной продукции сегодня. NanoLith 7000 предлагает ширину полосы частот < 0,5 pm FWHM и < 1,3 pm интеграл энергии 95 процентов, который позволяет блоки развертки следующего поколени с высокими объективами Численной Апертуры произвести разрешение на подводная лодка 100 приборов nm.

Сегодняшние чипмейкеры изыскивают источники света которые делают критический переход в длине волны выдержки от 248 nm используя фторид криптона (KrF) до 193 nm используя фторид аргона (ArF) пока поддерживающ требования представления и тома изготавливания основного направления. NanoLith 7000 было конструировано для того чтобы соотвествовать эти.

Рассматривайте эти преимущества NanoLith 7000:

  • Модуль Стабилизации Длины Волны (WSM) поставляет управление длины волны высокой точности настраивая для того чтобы обеспечить оптимальную регулировку фокуса, максимальную широту экспозиции, и улучшенное управление КОМПАКТНОГО ДИСКА.
  • Сильно изощренные инструменты метрологии оптимизируют спектральное распределение для того чтобы поставить максимальный отростчатый допустимый предел.
  • Улучшения эффективности Конструкции форсируют продолжительности жизни модуля фактором пять или больше приводя к в предпологаемом 80 процентах цены уменьшения (CoC) потребляемых веществ над системами ArF 5000 Серий.
  • Надежность вы можете возлагать надежды на и соответствие с всеми правилами безопасности сделать NanoLith 7000 выбор для чипмейкеров всемирным.
  • Надежность вы можете возлагать надежды на и соответствие с всеми правилами безопасности сделать NanoLith 7000 выбор для чипмейкеров всемирным.

Last Update: 11. January 2012 08:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment