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从 Cymer Inc. 的 NanoLith 7000。

一个第四代设计, NanoLithTM 7000 提供必需的输出功率和稳定性,当提供高度线路缩小的带宽今天时符合大容积生产的严密要求。 NanoLith 7000 提供带宽 < 0.5 pm FWHM 和 < 1.3 pm 95% 能量积分,使下一代扫描程序以高数值口径透镜导致潜水艇的解决方法 100 个毫微米设备。

今天芯片制造商寻找由 248 毫微米做在风险波长的重要转移使用氪氟化物的光源 (KrF) 到 193 毫微米使用氩氟化物 (ArF),当维护主流制造时性能和数量需求。 NanoLith 7000 被设计适应这些需要。

考虑 NanoLith 7000 的这些福利:

  • 波长安定模块 (WSM)提供高精确度调整的波长控制保证最佳的重点控制、最大曝光宽容度和被改进的 CD 的控制。
  • 非常完善的计量学工具优选光谱分布提供最大处理毛利。
  • 设计效率改善由五个或多个的系数提高模块寿命造成一期望的 80% 可消耗减少的费用 5000 系列 ArF 系统。
  • 您能计数的可靠性,并且遵照所有安全规章做出 NanoLith 7000 芯片制造商的选择全世界。
  • 您能计数的可靠性,并且遵照所有安全规章做出 NanoLith 7000 芯片制造商的选择全世界。

Last Update: 11. January 2012 07:57

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