TFS 500 Beneq에서 원자 층 공술서 시스템

TFS 500는 박막 코팅 응용에 있는 사용을 위해 디자인된 ALD 시스템입니다. 부대는 우수 품질 코팅과 결과를 가능하게 하는 기술적인 해결책 및 앞 가장자리 디자인을 통합합니다. Beneq에서는, 우리는 열린 마음 및 혁신적인 정신을 가진 ALD 공구 디자인에 접근했습니다. 우리의 목표는 발명품과 경험을 결합해서 새로운 응용 프로그램 및 사업 기회를 개발하기 위한 것입니다. TFS 500 의 우리의 처음 반응기 모형은 충분히 박막 연구 및 강력한 일괄 처리 둘 다에 적응할 수 있던 다재다능한 공구로, 그것의 케이스를 증명했습니다.

TFS 500는 기질의 몇몇 모형을 취급할 수 있습니다; 웨이퍼, 평면 객체, 분말 및 다공성 대량 물자, 뿐 아니라 복잡한 3D는 높은 종횡비 특징으로 반대합니다. 그것은 증가한 웨이퍼 프로세스 기능을 위한 수동 짐 자물쇠 더 장비될 수 있습니다. 반응 약실의 다른 모형은 차례차례로 각 고객 응용을 위한 각 반응 약실의 낙관을 가능하게 하는 진공 약실 안쪽에 쉽게 적합하 할 수 있습니다. TFS 500는 다중 계획사업 환경을 위한 이상적인 공구입니다.

TFS 500는 산업 신뢰도의 엄격한 필수품 및 연구 및 개발 작동의 융통성을 위한 필요를 둘 다 만족시킵니다. 그것은 강력한 모듈 구조물에 건축되고 모든 필요한 기술설계 및 안전 수요를 만족시킵니다. 가공 분대는 떨어져 선반 약품이어, 따라서 예비 품목 가용성을 지키. 모든 선구자 콘테이너는, 급히 쉽게 바꾸어질 수 있습니다. 선구자 준비완료상태는 가스, 액체 및 고형물을 포함합니다. 선구자 선택에 있는 가득 차있는 융통성을 위해, 우리는 게다가 500의 °C 최신 근원 선택권을 포함했습니다. 고객의 근원 윤곽은 5개의 가스, 4개의 액체 및 4개의 최신 근원의 건전지에 최저 2에서 그러므로, 변화할 수 있습니다.

특징

세는 성과

  • 우세하게 가공 주기 시간 2 초 이하. 많은 경우에, 1 초 미만 (균등성 변이에 < ±1%를 위해, 예를들면, 항공 연락 장교).2 3
  • 최신 근원 다양성, 표준 선택권으로 500까지 °C 최신 근원 준비.
  • 우량한 코팅 성과를 가진 특정 용도 반응 약실 디자인.
  • 두 표준 선택권으로 먼 플라스마 ALD 지시하거든.

모듈과 유연한 사용할 수 있는 융통성 -

1개의 또는 몇몇 실리콘 박편, 또는 2천개의 은화의 배치에 박막을 적용하고 싶다는 것을, TFS 500는 최고 선택입니다. 우리의 신임한 ALD 팀은 장비 디자인, 작동 및 받침 함수에 있는 특정 필요에 충족시킬 수 있습니다.

  • 를 위해, 예를들면 유효한, 몇몇 다른 반응 약실 웨이퍼, 다중 웨이퍼, 3D 및 분말 기질.
  • 포괄적인 모듈 디자인은 반응 약실, 근원 및 배관의 쉬운 변경을 허용합니다.
  • 큰 표면 기질을 위해 가능하가 높은 공술서에 의하여 압력을 가합니다.
  • 급속한 기질 웨이퍼 변경을 위해 유효한 수동 조작을 가진 짐 자물쇠.
  • 획일한 기질 온도를 위한 최신 벽 반응 약실 및 선구자 응축과 이차 반응을 방지하기 위하여.
  • 급속한 난방 및 냉각을 위한 차 벽 진공 약실.
  • 보조 입력은 플라스마, 제자리 진단 등등을 위한 진공 약실에서 향합니다.
  • 청정실 벽 집합을 포함하여, 양립한 청정실.

유일한 디자인 - 사용 용이

TFS 500는 작은 발자국 및 사용하기 쉬운 디자인을 통합합니다. 모든 코팅과 순서 관리 작동은 TFS 500에게로 작동하는 쾌락을 만드는 허리의 잘록한 곳의 위 편리하게 놓입니다. 선구자 근원 선적과 변경은 간단합니다, 단단 및 믿을 수 있는. 모든 기능은 PC 사용자 인터페이스와 자료 기록 (PLC)을 포함하여 풀그릴 논리 통제에 의해, 처리됩니다.

Last Update: 11. January 2012 04:45

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment